Semicorexi AlN Heater on mõeldud räniplaatide toetamiseks ja soojendamiseks. Kõrge puhtusastmega alumiiniumnitriidist (AlN) valmistatud küttekeha pakub hulgaliselt täiustatud funktsioone, mis vastavad erinevate ülitäpsete rakenduste vajadustele, eriti pooljuhtide tööstuses.**
Mitmekülgsus töökeskkondades
Üks AlN Heateri peamisi atribuute on selle võime töötada tõhusalt erinevates töökeskkondades, sealhulgas nii atmosfääri- kui ka vaakumtingimustes. Muljetavaldava töötemperatuuri vahemikuga kuni 1000 °C (1832 °F) tagab see kiire ja ühtlase kuumutamise kõikjal. See mitmekülgsus muudab selle sobivaks paljude rakenduste jaoks, alates pooljuhtide tootmisseadmetest kuni vaakumaurustussüsteemide, pihustusmasinate ja keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmeteni.
Täppistehnika koos paagutamisprotsessiga
AlN Heateri tootmisprotsess hõlmab vaakumkuumpressimist, mis on oluliselt keerulisem protsess kui tavaline rõhuvaba paagutamine. See keerukas tehnika tagab, et küttekeha alumiiniumnitriidi puhtus ulatub silmapaistva 99,5% -ni. Rakendades selliseid rangeid tootmisstandardeid, garanteerib Semicorex, et igal AlN Heateril on erakordsed mehaanilised ja termilised omadused, pakkudes usaldusväärset jõudlust ka kõige nõudlikumates tingimustes.
Erakordne soojusjuhtivus
AlN Heateri silmapaistvaks omaduseks on selle kõrge soojusjuhtivus, mis ületab 180 W/m*K. See kõrge soojusjuhtivus aitab saavutada suurepärast soojuslikku ühtlust laias temperatuurivahemikus, mis on paljude ülitäpsete rakenduste jaoks kriitiline tegur. Küttekeha saab konstrueerida mitmekihilise konstruktsiooniga, mis suudab toota kuni 2000 W/in² (310 W/cm²), tagades tõhusa ja ühtlase soojusjaotuse. See võimalus on eriti väärtuslik pooljuhtide töötlemisel, kus täpne temperatuuri reguleerimine on ülimalt oluline.
Suurepärane korrosioonikindlus
Lisaks soojusomadustele on AlN Heateril suurepärane korrosioonikindlus. See on väga vastupidav halogeengaaside ja oksüdeerivate keskkondade suhtes ning demonstreerib ka tugevat vastupidavust enamiku happeliste ja leeliseliste lahuste suhtes. See vastupidavus tagab pikaajalise vastupidavuse ja tööstabiilsuse isegi keskkondades, kus kokkupuude söövitavate ainetega on pidev probleem. Selline vastupidavus vähendab vajadust sagedase asendamise järele, alandades seeläbi hoolduskulusid ja suurendades süsteemi üldist töökindlust.
Rakendused kõrgtehnoloogilistes tööstusharudes
Semicorexi AlN Heater on oma täiustatud omaduste tõttu asendamatu erinevates kõrgtehnoloogilistes tööstusharudes:
Pooljuhtide tootmine: küttekeha ühtlane kuumutamine ja täpne juhtimine muudavad selle ideaalseks kasutamiseks pooljuhtide töötlemise seadmetes, tagades kvaliteetse vahvlitootmise.
Vaakumaurustussüsteemid: selle võime töötada vaakumkeskkonnas kõrgel temperatuuril muudab selle suurepäraseks valikuks vaakumaurustussüsteemide jaoks, kus kontrollitud küte on ülioluline.
Pommitamismasinad: AlN Heateri soojusjuhtivus ja korrosioonikindlus suurendavad substraatide katmiseks kasutatavate pihustusmasinate tõhusust ja eluiga.
Keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmed: CVD-protsessides, kus materjalid sadestatakse substraatidele keemiliste reaktsioonide kaudu, tagab kütteseadme ühtlane temperatuurijaotus ühtlased ja kvaliteetsed õhukesed kiled.
Täiustatud jõudlus ja töökindlus
AlN Heateri disain ja materjali koostis aitavad kaasa selle paremale jõudlusele ja töökindlusele. Alumiiniumnitriidi puhtus koos range paagutamisprotsessiga annab tulemuseks küttekeha, mis mitte ainult ei tööta erakordselt hästi, vaid säilitab ka oma terviklikkuse pikema aja jooksul. See töökindlus on ülioluline kõrge panusega keskkondades, kus seadmete rike võib kaasa tuua olulisi seisakuid ja rahalisi kaotusi.
Kohandatav disain
Mõistes, et erinevatel rakendustel on ainulaadsed nõuded, pakub Semicorex AlN Heaterile kohandatavaid disainivalikuid. Olenemata sellest, kas tegemist on küttekeha suuruse, kuju või väljundvõimsuse reguleerimisega, teeb meie ekspertide meeskond tihedat koostööd klientidega, et töötada välja konkreetsetele vajadustele vastavad kohandatud lahendused. Selline kohandamise tase tagab, et AlN Heater integreerub sujuvalt olemasolevatesse süsteemidesse, suurendades üldist tõhusust ja jõudlust.