Vertikaalsed kvartsvahvelpaadid

Pooljuhtide tootmisprotsessides peavad reaktsioonikambris olevad pooljuhtkomponendid vastama rangetele kõrge puhtuse standarditele. Vastasel juhul võivad isegi mikro- või nanomõõtmelised lisandid või saasteained põhjustada pooljuhtseadmete jõudlust ja tootlikkust pöördumatult kahjustada.

Kvartsist vahvelpaadidpaigaldatakse tavaliselt vertikaalselt kõrge temperatuuriga reaktsioonikambritesse, nagu difusioonahjud, oksüdatsiooniahjud ja lõõmutusahjud, kus need peavad olema vahvlitega otseses kontaktis. Semicorexi vertikaalsed kvartsplaadid on valmistatud kõrge puhtusastmega kvartsmaterjalidest, et täita neid kõrge puhtuse nõudeid. See arukas materjalivalik väldib tõhusalt vahvlite saastumist, mis on põhjustatud vahvlipaadist tootmisprotsessi käigus vabanenud reaktiividest.

Pooljuhtide tootmisel peavad vahvlipaadid mitte ainult läbima korduvaid kuumutamis-jahutustsükliid, vaid taluma ka protsessigaaside korrosiooni pikema aja jooksul. Semicorexi vertikaalne kvartsvahvelpaatidel on erakordne mõõtmete stabiilsus pideva termilise tsükli keerulistes töötingimustes nende loomupärase termilise stabiilsuse tõttu. Need suurepärased soojusomadused hoiavad märkimisväärselt ära vahvli deformatsiooni ja vertikaalsete kvartsvahvlipaatide täppis- või struktuurse deformatsiooni põhjustatud kahjustused. Veelgi enam, tänu kõrgele keemilisele inertsusele võivad vertikaalsed kvartsplaadid olla vastupidavad reaktsioonile söövitavate gaasidega, nagu hapnik, veeaur, vesinikkloriid ja ammoniaak. See omadus vähendab oluliselt võimalust, et keemiline korrosioon kahjustab vertikaalsete kvartsvahvlipaatide struktuurilist terviklikkust.

Lisaks ülalmainitud jõudluse eelistele näitavad Semicorexi vertikaalsed kvartsplaadid suurepärast konkurentsivõimet ka mõõtmete täpsuse ja konstruktsioonilahenduse osas. Kõik nende osad on valmistatud täppistöötlustehnikaga. See täpne mõõtmete juhtimine tagab vahvlite täpse positsioneerimise, minimeerides laadimise, töötlemise ja mahalaadimise ajal nihkumisest või kokkupõrkest põhjustatud kriimustusi ja pragusid.