Semicorex Quartz Diffusion Boat, mida nimetatakse ka kvartskanduriks või kvartsvahvlipaadiks, on spetsiaalselt loodud pooljuhtvahvlite hoidmiseks kriitiliste protsesside ajal, nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), termiline oksüdatsioon ja lõõmutamine.**
Keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) puhul on kvartsdifusioonpaadi roll õhukeste kilede ühtlasel sadestamisel pooljuhtsubstraatidel ülioluline. Kvartsi difusioonipaadi täpne konstruktsioon tagab, et vahvlid on kindlalt paigal, võimaldades gaasiliste reaktiivide ühtlast jaotumist nende pindadel. See ühtlus on ülioluline ühtlase kile paksuse ja koostise saavutamiseks, mis mõjutab otseselt pooljuhtseadmete elektrilist jõudlust. Semicorex Quartz Diffusion Boat on loodud taluma kõrgeid temperatuure ja söövitavat keskkonda, mida CVD protsessides tavaliselt kohtab, tagades pikaajalise vastupidavuse ja töökindluse.
Termiline oksüdatsioon on veel üks kriitiline protsess pooljuhtide tootmises, kus ränidioksiidikihti kasvatatakse räniplaatide pinnale. See oksiidikiht toimib isolaatorina ja on pooljuhtseadmete nõuetekohaseks toimimiseks hädavajalik. Kvartsi difusioonipaat on loodud pakkuma suurepärast termilist stabiilsust, tagades, et vahvlid puutuvad oksüdatsiooniprotsessi ajal kokku ühtlase temperatuuriprofiiliga. See ühtlus on oluline ühtlase ja kvaliteetse oksiidikihi kasvatamiseks, mis suurendab lõplike pooljuhtseadmete jõudlust ja töökindlust.
Lõõmutamine, mis hõlmab vahvlite kontrollitud kuumutamist ja jahutamist, et muuta nende füüsikalisi ja keemilisi omadusi, on veel üks protsess, kus kvartsi difusioonpaat mängib olulist rolli. Temperatuuri ja atmosfääri täpne reguleerimine lõõmutamise ajal on räni kristallstruktuuri parandamiseks, lisandite aktiveerimiseks ja defektide vähendamiseks ülioluline. Semicorexi kvartsdifusioonpaat on loodud säilitama struktuuri terviklikkust ja termilist stabiilsust kõrgetel temperatuuridel ja lõõmutamisprotsessidele tüüpiliste kiirete temperatuurimuutuste korral. See stabiilsus tagab plaatide ühtlase töötlemise, saavutades soovitud materjali omadused ja suurendades pooljuhtseadmete jõudlust.
Kohandamine on kvartsi difusioonipaadi võtmeaspekt, kuna erinevatel pooljuhtide tootmisprotsessidel on ainulaadsed nõuded. Semicorexis pakume laia valikut kohandatud kujusid ja suurusi, mis vastavad meie klientide spetsiifilistele vajadustele. Meie tootesari hõlmab erinevat tüüpi kvartsvahvlite kandjaid, nagu kvartspaadid, pilupaate, lamellpaadid ja seisva kujuga paadid. Oleme spetsialiseerunud mitmesuguste spetsifikatsioonidega vahvlikandjate tootmisele, sealhulgas 3-tollise, 4-tollise, 5-tollise, 6-tollise, 7-tollise ja 8-tollise vahvliga. Saadaval on nii läbipaistvad sulatatud kui ka läbipaistmatud materjalid, mis võimaldab meil pakkuda lahendusi, mis on kohandatud iga rakenduse spetsiifilistele nõuetele.
Meie tootmisvõimalusi toetavad tipptasemel rajatised, sealhulgas tolmuvabad keevitusruumid ja kõrgetasemelised töötlemistöökojad. Kvartsi difusioonipaadi kõrgeima kvaliteedi ja täpsuse tagamiseks kasutame kõrgtehnoloogiaid, nagu laserlõikus, CNC-töötlemiskeskused, CNC-pilutamismasinad ja tõhus vesilõikamine. Need täiustatud tootmisprotsessid võimaldavad meil toota täpsete mõõtmetega ja suurepärase pinnaviimistlusega kvartspaate, tagades optimaalse jõudluse pooljuhtide tootmisprotsessides.