Tefloni kassetid

Semicorexi teflonkassetid on suure jõudlusega vahvli kandjad, mis on spetsiaalselt loodud kasutamiseks nõudlikes keemilistes keskkondades, kus puhtus, keemiline vastupidavus ja termiline stabiilsus on hädavajalikud. Valmistatud kõrge puhtusastmega polütetrafluoroetüleen (PTFE), neid kassette kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisel, niiske söövitamisel, keemilistel puhastamisel ja muude rakendustes, kus kokkupuude väga agressiivsete kemikaalidega on rutiinne. Nende mittereageeriv olemus muudab need ideaalseks õrnade substraatide, nagu räni vahvlid, klaaspaneelid ja muud täpsuskomponendid, käitlemiseks ilma saastumist või osakesi protsessi sisestamata.

Erinevates pooljuhtide tootmise protsessides, näiteks litograafia, söövitus ja ioonide implanteerimine, mängivad kassetid vahvlite transportimisel ja ülekandmisel erinevate seadmete vahel. Erinevatel protsessiseadmetel võib olla kassettide jaoks erinevad liidese nõuded, et tagada vahvlikandjate täpselt vastuvõtmine ja paigutamine.

Materjali ja disaini vaatenurgast on soojuskindlad materjalidel suurepärased mehaanilised omadused, mõõtmete stabiilsus ja vastupidavad, antistaatilised, madala väljalaskmise, madala sademega ja taaskasutatavad. Erinevad vahvlisuurused, protsessisõlmed ja protsessid kasutavad erinevaid materjale. Üldised materjalid on PFA, PTFE, PP, PEK, PES, PES, PC, PBT, PEI, COP, COP jne.

Teflon -kassetid pakuvad keskkonnas suurepärast keemilist resistentsust, kasutades vesinikfluoriinhapet, lämmastikhapet, väävelhapet ja muid tugevaid söövitajaid. Erinevalt tavapärastest materjalidest nagu polüpropüleenist või roostevabast terasest, ei lagune PTFE; ei paisu; Leotleb karmides keemilistes vannides aineid. Seetõttu tagatakse jõudlus pikaajalistel perioodidel ja seega ka kassettide usaldusväärsus suure läbilaskevõimega tootmisliinide ja ülipuhta keskkonna jaoks. Selle vastupidavus tähendab väiksemaid hooldusvajadusi ja asendussagedust, vähendades sellega pikaajalisi tegevuskulusid.

Teflon -kassetid näitavad väga suurt termilist stabiilsust. Need saavad hõlpsalt vastu temperatuuridele vahemikus -200 ° C kuni +260 ° C, mida rakendatakse nii krüogeensete kui ka kõrgtemperatuuriliste protsesside korral. Isegi kuumutatud kuivatuskambritesse või külmade keemiliste vannidesse asetatud kassetid ei kaota oma struktuurilist tugevust; Nad ei vääna ega pragune, tagades, et vahvlid jäävad töötlemise ajal ohutult. See temperatuuri vastupidavus aitab märkimisväärselt kaasa protsesside kontrollile ja ühtlusele, mis on pooljuhtide ja MEMS -i valmistamise jaoks kriitilise tähtsusega.

Teflon-kassettide võrdselt oluline omadus on selle inertne, mittekleepuv pind. PTFE ei võimalda oma olemuselt osakeste ja keemiliste jääkide adsorptsiooni, vähendades seega saastumise riske puhta ruumi keskkonnas. See tuleb ühendada sileda pinnaviimistlusega, mis võimaldab loputamist hõlpsalt ja kuivavat kiiret, seega puhtamaid tulemusi ja kiiremat tsükli aega. Pooljuhtide töötlemisel, kus defekte võivad põhjustada isegi mikroskoopilised saasteained, on see puhtus ja keemiline inertsuse tase kohustuslik.

Iga kassett on täpselt valmistatud tiheda suurusega tolerantsideni, tagades liikumise ja vedelikuna asetamise ajal püsiva vahvli joondamise ja vahed. Nende hõlpsasti kujundatud vorm aitab kiiret keemilist voolu ja drenaaži, mis kiirendab keemilisi vahetuskiirusi ja parandab vahvli pinna puhastamist või söövitamist.  Kassetid on saadaval standardsuuruses 4-tollise, 6-tollise ja 8-tollise vahvlite jaoks, kus on olemas kohandamisvalikud, mis sobivad konkreetsete substraadi mõõtmete, pesade arvu ja käitlemisnõuete jaoks.

Teflon -kassetid, mis on mõeldud ühilduvuseks automatiseeritud niiskete pinkide ja robotite vahvli käitlemissüsteemidega, integreeruvad teflonkassetid hõlpsalt enamikusse pooljuhtide tootmise seadistustesse. Nende tugev ehitamine ja puhas ruumis viimistlus vastavad ISO-sertifitseeritud keskkonna rangetele nõudmistele. Kõik kassetid läbivad põhjaliku kontrolli ja on eelnevalt puhastatud ülipuhta vees, et vastata täpsustamisstandarditele, mis on vajalikud kaugelearenenud mikroelektroonika tootmiseks. Kvaliteeditagamise protokollide järgimise tagamiseks saab tagada vastavuse sertifikaadid ja täieliku jälgitavuse.