TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga.
Tantaalkarbiid (TaC) on ühend, mis koosneb tantaalist ja süsinikust. Sellel on metalliline elektrijuhtivus ja erakordselt kõrge sulamistemperatuur, mistõttu on see tulekindel keraamiline materjal, mis on tuntud oma tugevuse, kõvaduse ning kuuma- ja kulumiskindluse poolest. Tantaalkarbiidide sulamistemperatuur on sõltuvalt puhtusest umbes 3880 °C ja sellel on üks kahekomponentsete ühendite kõrgeimaid sulamistemperatuure. See muudab selle atraktiivseks alternatiiviks, kui kõrgemad temperatuurinõuded ületavad jõudlusvõimet, mida kasutatakse liitpooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides, nagu MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingi materjaliandmed
Projektid |
Parameetrid |
Tihedus |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiivsus |
0.3 |
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
Kõvadus (HK) |
2000 |
Takistus (oomi-cm) |
1 × 10-5 |
Termiline stabiilsus |
<2500 ℃ |
Grafiidi mõõtmete muutus |
-10–20 um (võrdlusväärtus) |
Katte paksus |
≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
|
|
Ülaltoodud on tüüpilised väärtused |
|
Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud rõngas on pooljuhtide töötlemisel kasutatav ülioluline komponent. Sellel on spetsiaalne kate, mis täidab mitut funktsiooni, et suurendada pooljuhtmasinate grafiitkomponentide tõhusust ja pikaealisust. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC kaetud grafiitdetailid on täpselt valmistatud komponendid, mis on spetsiaalselt loodud vastu pidama pooljuhtide töötlemise nõudlikus keskkonnas. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC Coating Graphite Cover on tipptasemel lahendus termiliste rakenduste valdkonnas kristallide kasvatamiseks ja epitaksiaalseteks (epi) protsessideks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC katterõngas on keskse komponendina monokristallide kasvu valdkonnas termilises väljas. Täpselt ja uuenduslikult valmistatud spetsiaalne juhtrõngas mängib monokristallilise materjali tootmise keerukas protsessis üliolulist rolli. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC-ga kaetud vahvli sustseptor on oluline komponent, mida kasutatakse metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) ahjudes pooljuhtide epitaksiaalseks (epi) töötlemiseks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC tantaalkarbiidiga kaetud plaat on tipptasemel lahendus, mis on loodud vastama pooljuhtide tootmise rangetele nõuetele, eriti epitaksiaalse (epi) töötlemise etapis. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päring