TaC-kattega tihendusrõngas

Tihenduskomponentidele kantud Semicorex TaC-kattega tihendusrõngas pakub erakordseid eeliseid pooljuhtide valmistamise nõudlikes keskkondades. TaC-kate lahendab kriitilisi väljakutseid, mis on seotud keemilise vastupidavuse, äärmuslike temperatuuride ja mehaanilise kulumisega, võimaldades suuremat protsessi tootlikkust, pikemat seadmete tööaega ja lõppkokkuvõttes madalamaid tootmiskulusid. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega TaC-kattega tihendusrõnga tootmisele ja tarnimisele, mis ühendab kvaliteedi ja kulutõhususe.**

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex TaC-kattega tihendusrõngas on suurepärane inertsus paljude pooljuhtprotsessides kasutatavate söövitavate gaaside ja kemikaalide suhtes, sealhulgas plasmasöövituskeemia (nt fluor, kloor, broom), lisandid (nt boor, fosfor, arseen) ja agressiivsed ained. puhastusvahendid. See inertsus hoiab ära tihendi lagunemise ja tundlike protsessikambrite saastumise.

Ja sulamistemperatuuriga üle 3800 °C, säilitab TaC-kattega tihendusrõngas oma struktuurse terviklikkuse ja mehaanilise tugevuse vahvlite töötlemisel esinevatel kõrgetel temperatuuridel. See tagab usaldusväärse tihendusvõime kõrgel temperatuuril lõõmutamise, sadestamise ja söövitamise ajal.

TaC-kattega tihendusrõnga äärmine kõvadus ja madal hõõrdetegur tagavad erakordse vastupidavuse kulumisele, kriimustustele ja hõõrdumisele. See on kriitilise tähtsusega dünaamiliste tihendusrakenduste puhul, kus korduv liikumine või kokkupuude vahvlite ja muude komponentidega võib põhjustada osakeste teket ja tihendi rikke.

TaC-kattega tihendusrõngal on väga madal väljalaskemäär isegi kõrgetel temperatuuridel, mistõttu on need ideaalsed kõrgvaakumrakenduste jaoks. See tagab protsessi puhtuse ja hoiab ära soovimatute saasteainete ladestumise tundlikele vahvlipindadele.

Konkreetsed eelised pooljuhtide rakendustes:

Pikendatud tihendi eluiga:TaC-kattega tihendusrõngas pikendab märkimisväärselt tihendi eluiga, pakkudes suurepärast vastupidavust keemilisele rünnakule, termilisele lagunemisele ja mehaanilisele kulumisele. See vähendab tihendite vahetamise sagedust, minimeerides seisakuid ja hoolduskulusid.

Parem protsessi tootlikkus ja vahvli kvaliteet:TaC-kattega tihendusrõnga inertne olemus minimeerib osakeste teket ja saastumist, mis suurendab protsessi saagist ja parandab vahvli kvaliteeti. See on kriitilise tähtsusega suure jõudlusega pooljuhtseadmete tootmiseks, millel on ranged defektitalerantsid.

Täiustatud seadmete tööaeg ja tootlikkus:Pikem tihendite kasutusiga ja väiksemad hooldusvajadused aitavad kaasa seadmete tööaja pikenemisele ja üldisele tootlikkusele. See on ülioluline väljundi maksimeerimiseks ja suuremahulise pooljuhtide tootmise nõudmiste täitmiseks.