Päikese grafiitpaat

Semicorex Solar Graphite Boat toimib usaldusväärse platvormina pooljuhtplaatide hoidmiseks mitmesuguste termiliste protsesside ajal, nagu lõõmutamine, difusioon ja sadestamine. Selle tugev konstruktsioon ja erakordne kuumakindlus muudavad Solar Graphite Boat'i asendamatuks tööriistaks pooljuhtide tootmisel, uurimislaborites ja muudes arenenud tööstuslikes rakendustes.

Mitmekülgsust silmas pidades kujundatud päikesegrafiitpaati saab kohandada vastavalt kliendi konkreetsetele nõudmistele. Olenemata sellest, kas see on kaetud ränikarbiidiga (SiC), et suurendada vastupidavust ja vastupidavust keemilisele korrosioonile, või jäetud katmata rakendustes, kus puhtus on ülitähtis, on iga päikesegrafiitpaat hoolikalt valmistatud, et tagada ühtlane jõudlus ja pikaealisus.

Päikese grafiitpaadi peamised omadused on järgmised:

Erakordne termiline stabiilsus: talub äärmuslikke temperatuure pooljuhtide töötlemisel, tagades ühtlase soojusjaotuse ja täpse kontrolli soojustsüklite üle.

Kõrge puhtusastmega grafiitkonstruktsioon: valmistatud esmaklassilistest grafiitmaterjalidest, et minimeerida saastumist ja säilitada pooljuhtplaatide terviklikkus.

Täppistehnika: mõeldud erinevate suuruste ja konfiguratsioonide jaoks, täpsete mõõtmete ja pinnaviimistlusega, et tagada kindel käsitsemine ja minimaalne vahvlikahjustus.

TaC-ga kaetud grafiitdetailid mängivad keskset rolli peamiste pooljuhtide töötlemise tehnikate optimeerimisel, sealhulgas difusiooniprotsessid, oksüdatsioonilõõmutamine, madalrõhu keemiline aurustamine-sadestamine (LPCVD) ja plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). Hõlbutades täpset temperatuuri reguleerimist ja tagades aluspindade ühtluse, aitavad TaC-ga kaetud grafiitdetailid oluliselt parandada toote kvaliteeti ja tootmistõhusust.

Semicorex TaC kaetud grafiitdetailid on hoolikalt projekteeritud, et vastata pooljuhtide tootmise rangetele nõuetele. Alates difusiooniprotsesside tõhustamisest kuni erinevate sadestustehnikate kvaliteedi ja tõhususe parandamiseni on TaC-ga kaetud grafiidiosad asendamatud vahendid pooljuhtide valmistamise tipptaseme poole püüdlemisel.