Ränikarbiidkeraamika (SiC) on täiustatud keraamiline materjal, mis sisaldab räni ja süsinikku. Ränikarbiidi terad saab paagutamise teel omavahel siduda, moodustades väga kõva keraamika. Semicorex tarnib kohandatud ränikarbiidist keraamikat vastavalt teie vajadustele.
Rakendused
Ränikarbiidkeraamika puhul jäävad materjali omadused konstantseks kuni temperatuurini üle 1400°C. Suur Youngi moodul > 400 GPa tagab suurepärase mõõtmete stabiilsuse.
Ränikarbiidi komponentide tüüpiline rakendus on dünaamiline tihendustehnoloogia, mis kasutab hõõrdlaagreid ja mehaanilisi tihendeid, näiteks pumpades ja ajamisüsteemides.
Täiustatud omadustega ränikarbiidist keraamika sobib ideaalselt kasutamiseks ka pooljuhtide tööstuses.
Vahvlipaadid →
Semicorex Wafer Boat on valmistatud paagutatud ränikarbiidkeraamikast, millel on hea korrosioonikindlus ja suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja termilisele šokile. Täiustatud keraamika tagab suurepärase soojustakistuse ja plasma vastupidavuse, vähendades samal ajal suure võimsusega vahvlikandjate osakesi ja saasteaineid.
Reaktsiooniga paagutatud ränikarbiid
Võrreldes teiste paagutamisprotsessidega on tihendamisprotsessi ajal tekkiva reaktsioonipaagutamise suuruse muutus väike ja saab valmistada täpsete mõõtmetega tooteid. Kuid suure koguse SiC olemasolu paagutatud kehas halvendab reaktsiooniga paagutatud SiC keraamika kõrge temperatuuri jõudlust.
Survevaba paagutatud ränikarbiid
Survevaba paagutatud ränikarbiid (SSiC) on eriti kerge ja samal ajal kõva suure jõudlusega keraamika. SSiC-d iseloomustab kõrge tugevus, mis jääb peaaegu konstantseks isegi äärmuslikel temperatuuridel.
Ümberkristalliline ränikarbiid
Ümberkristallitud ränikarbiid (RSiC) on järgmise põlvkonna materjalid, mis saadakse kõrge puhtusastmega ränikarbiidi jämeda pulbri ja kõrge aktiivsusega ränikarbiidi peene pulbri segamisel ning pärast vuukimist vaakumpaagutamisel temperatuuril 2450 °C ümberkristallimiseks.
Semicorexi räni karbiidi vaakum Chuck on suure jõudlusega vahvli käitlemislahus, mis on valmistatud poorsest räni karbiidist. See on spetsiaalselt konstrueeritud pooljuhtide vahvlite vaakum adsorptsiooniks kriitiliste protsesside ajal nagu kinnitus (vahatamine), hõrenemine, vahatamine, puhastamine, kuubikumine ja kiire termiline lõõmutamine (RTA). Valige Semicorex tasakaalustamata materiaalse puhtuse, mõõtmete täpsuse ja usaldusväärse jõudluse jaoks nõudlikes pooljuhtide keskkonnas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex poorne sic chuck on suure jõudlusega keraamiline vaakumpruck, mis on mõeldud turvaliseks ja ühtseks vahvli adsorptsiooniks pooljuhtide töötlemisel. Selle konstrueeritud mikropoorne struktuur tagab suurepärase vaakumjaotuse, muutes selle ideaalseks täppisrakenduste jaoks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC vaakumkatted on suure jõudlusega keraamilise kinnitus, mis on mõeldud vahvli turvaliseks adsorptsiooniks pooljuhtide tootmisel. Paremate termiliste, mehaaniliste ja keemiliste omadustega tagab see stabiilsuse ja täpsuse nõudlikes protsessikeskkondades.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC konsoolide aerud on suure jõudlusega ränikarbiidi konsooli aerud, mida kasutatakse pooljuhtide termilise töötlemisseadmetes, mis on mõeldud stabiilseks vahvli käitlemiseks kõrgtemperatuuriga keskkonnas. Semicorexi valimine tähendab kõrge puhtusarja materjalide, suurepärase termilise stabiilsuse ja tööstuse juhtiva täpsuse tootmistehnoloogia valimist, et tagada iga teie kriitilise protsessi stabiilne ja usaldusväärne.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC -paadihoidjad on olulised konstruktsioonikomponendid, mis tagavad täpse ja usaldusväärse vahvli positsioneerimise pooljuhtide termilise töötlemisel. Valige Semicorex tasakaalustamata kvaliteedi, tehniliste teadmiste ja pühendumuse saavutamiseks pooljuhtide tootmisel kõrge puhtusarja SIC-lahenduste edendamiseks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi vahvlid on täppismootoriga keraamilised kandjad, mis on mõeldud kõrge temperatuuriga vahvli töötlemiseks pooljuhtide tootmisel. Valige Semicorex selle tasakaalustamata materiaalse puhtuse, täiustatud valmistamise tehnoloogia ja kvaliteedile pühendumise jaoks, mis tagab järjepideva jõudluse kõige nõudlikumas puhta ruumis keskkonnas.*
Loe rohkemSaada päring