SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjal pakub räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjali kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor tagab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC kaetud sustseptor on HEMT oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC-ga kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
Semicorexi ICP söövitusvahvlihoidja on ideaalne lahendus kõrge temperatuuriga vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksimine ja MOCVD. Stabiilse ja kõrge temperatuuriga kuni 1600°C oksüdatsioonikindlusega tagavad meie kandurid ühtlased termilised profiilid, laminaarsed gaasivoolumustrid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ICP söövitusplaat on ideaalne lahendus nõudlikeks vahvlite käsitsemiseks ja õhukese kile sadestamise protsessideks. Meie toode tagab suurepärase kuuma- ja korrosioonikindluse, ühtlase termilise ühtluse ja laminaarse gaasivoolu. Puhta ja sileda pinnaga meie kandja sobib suurepäraselt puutumata vahvlite käsitsemiseks.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi vahvlihoidik ICP söövitusprotsessi jaoks on ideaalne valik nõudlike vahvlite käsitsemise ja õhukese kile sadestamise protsesside jaoks. Meie tootel on suurepärane kuuma- ja korrosioonikindlus, ühtlane termiline ühtlus ja optimaalsed laminaarsed gaasivoolumustrid, mis tagavad järjepidevad ja usaldusväärsed tulemused.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ICP ränisüsinikkattega grafiit on ideaalne valik nõudlike vahvlite käitlemise ja õhukese kile sadestamise protsesside jaoks. Meie tootel on suurepärane kuuma- ja korrosioonikindlus, ühtlane termiline ühtlus ja optimaalsed laminaarsed gaasivoolumustrid.
Loe rohkemSaada päringValige Semicorexi ICP plasmasöövitussüsteem PSS-protsessi jaoks kvaliteetsete epitakseerimis- ja MOCVD-protsesside jaoks. Meie toode on loodud spetsiaalselt nende protsesside jaoks, pakkudes suurepärast kuuma- ja korrosioonikindlust. Puhta ja sileda pinnaga meie kandja sobib suurepäraselt puutumata vahvlite käsitsemiseks.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ICP plasmasöövitusplaat tagab vahvlite käitlemise ja õhukese kile sadestamise protsesside jaoks suurepärase kuuma- ja korrosioonikindluse. Meie toode on konstrueeritud taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust, tagades vastupidavuse ja pikaealisuse. Puhta ja sileda pinnaga meie kandja sobib suurepäraselt puutumata vahvlite käsitsemiseks.
Loe rohkemSaada päring