Monokristalliline ränivahvli sustseptor

Meie monokristalliline räni epitaksiaalne susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode, millel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. CVD ränikarbiidiga kaetud kandjat kasutatakse protsessides, mis moodustavad pooljuhtplaatidele epitaksiaalse kihi. Sellel on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis on tõhusate ja täpsete pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks hädavajalikud.
Üks meie monokristallilise ränivahvli susceptori põhiomadusi on selle suurepärane tihedus. Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas. Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega, mis on kvaliteetse vahvlitootmise säilitamiseks hädavajalik.
Meie toote teine ​​oluline omadus on selle võime vähendada soojuspaisumisteguri erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel. See parandab tõhusalt liimimistugevust, vältides pragunemist ja delaminatsiooni. Lisaks on nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis tagab soojuse ühtlase jaotumise tootmisprotsessi ajal.
Meie monokristalliline silikoonvahvel susceptor on vastupidav ka kõrgel temperatuuril oksüdatsioonile ja korrosioonile, muutes selle usaldusväärseks ja vastupidavaks tooteks. Selle kõrge sulamistemperatuur tagab, et see talub tõhusaks pooljuhtide tootmiseks vajalikku kõrge temperatuuri keskkonda.
Kokkuvõtteks võib öelda, et Semicorex Monokristalliline Silicon Wafer Susceptor on ülipuhas, vastupidav ja usaldusväärne lahendus grafiidi epitaksi ja vahvlite käitlemise protsesside jaoks. Selle suurepärane tihedus, pinnatasasus ja soojusjuhtivus muudavad selle ideaalseks kasutamiseks kõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Oleme uhked, et pakume kvaliteetseid tooteid konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teiega koostööd kõigis teie pooljuhtplaatide kandja vajadustes.

Monokristallilise ränivahvli sustseptori parameetrid

Monokristallilise ränivahvli susceptori omadused

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut