Kodu > Tooted > Ränikarbiidiga kaetud > Monokristalliline räni > Monokristalliline ränivahvli sustseptor
Monokristalliline ränivahvli sustseptor

Monokristalliline ränivahvli sustseptor

Semicorexi monokristalliline ränivahvel Susceptor on ideaalne lahendus grafiidi epitakseerimiseks ja vahvlite käitlemiseks. Meie ülipuhas toode tagab minimaalse saastumise ja erakordse pika kasutusea, muutes selle populaarseks valikuks paljudel Euroopa ja Ameerika turgudel. Hiina juhtiva pooljuhtplaatide kandjate pakkujana ootame teie pikaajalist partnerit.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie monokristalliline räni epitaksiaalne susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode, millel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. CVD ränikarbiidiga kaetud kandjat kasutatakse protsessides, mis moodustavad pooljuhtplaatidele epitaksiaalse kihi. Sellel on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis on tõhusate ja täpsete pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks hädavajalikud.
Üks meie monokristallilise ränivahvli susceptori põhiomadusi on selle suurepärane tihedus. Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas. Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega, mis on kvaliteetse vahvlitootmise säilitamiseks hädavajalik.
Meie toote teine ​​oluline omadus on selle võime vähendada soojuspaisumisteguri erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel. See parandab tõhusalt liimimistugevust, vältides pragunemist ja delaminatsiooni. Lisaks on nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis tagab soojuse ühtlase jaotumise tootmisprotsessi ajal.
Meie monokristalliline silikoonvahvel susceptor on vastupidav ka kõrgel temperatuuril oksüdatsioonile ja korrosioonile, muutes selle usaldusväärseks ja vastupidavaks tooteks. Selle kõrge sulamistemperatuur tagab, et see talub tõhusaks pooljuhtide tootmiseks vajalikku kõrge temperatuuri keskkonda.
Kokkuvõtteks võib öelda, et Semicorex Monokristalliline Silicon Wafer Susceptor on ülipuhas, vastupidav ja usaldusväärne lahendus grafiidi epitaksi ja vahvlite käitlemise protsesside jaoks. Selle suurepärane tihedus, pinnatasasus ja soojusjuhtivus muudavad selle ideaalseks kasutamiseks kõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Oleme uhked, et pakume kvaliteetseid tooteid konkurentsivõimeliste hindadega ja ootame teiega koostööd kõigis teie pooljuhtplaatide kandja vajadustes.


Monokristallilise ränivahvli sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid

SiC-CVD omadused

Kristalli struktuur

FCC β faas

Tihedus

g/cm³

3.21

Kõvadus

Vickersi kõvadus

2500

Tera suurus

μm

2-10

Keemiline puhtus

%

99.99995

Soojusmahtuvus

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimatsiooni temperatuur

2700

Üleseksuaalne tugevus

MPa (RT 4-punktiline)

415

Youngi moodul

Gpa (4p bend, 1300â)

430

Soojuspaisumine (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Soojusjuhtivus

(W/mK)

300


Monokristallilise ränivahvli susceptori omadused

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut




Kuumad sildid: Monokristalliline ränivahvli susceptor, Hiina, tootjad, tarnijad, tehas, kohandatud, hulgi, täiustatud, vastupidav

Seotud kategooria

Saada päring

Palun esitage oma päring allolevas vormis. Vastame teile 24 tunni jooksul.