Monokristalliline räni epitaksiaalne sustseptor

Semicorexi ülipuhas monokristalliline räni epitaksiaalne sustseptor, mis sobib ideaalselt grafiidi epitakseerimiseks ja vahvlite käitlemiseks, tagab minimaalse saastumise ja erakordselt pika tööea. Meie toodetel on hea hinnaeelis ja need hõlmavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex Monokristalliline Silicon Epitaxial Susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode, millel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. CVD ränikarbiidiga kaetud kandja, mida kasutatakse protsessides, mis moodustavad pooljuhtplaatidele epitaksiaalse kihi, millel on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
Meie monokristalliline räni epitaksiaalne sustseptor on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie monokristallilise räni epitaksiaalse sustseptori kohta.

Monokristallilise räni epitaksiaalse sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Monokristallilise räni epitaksiaalse sustseptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.