Semicorexi ränikarbiidist padrunid on spetsiaalselt loodud fotolitograafiaseadmete jaoks ja neil on mitmeid eeliseid, nagu suur täpsus, ülikerge kaal, kõrge jäikus, madal soojuspaisumistegur ja suurepärane kulumiskindlus.
Semicorexränikarbiidi padrunidon funktsionaalsed adsorptsiooniseadmed, millest on valmistatudÜmberkristallitud(SiC) keraamiline materjal. Neid kasutatakse peamiselt pooljuhtides, fotogalvaanikates, täppistootmises ja muudes stsenaariumides, millel on äärmiselt kõrged nõuded kõrge temperatuurikindluse, kulumiskindluse, keemilise korrosioonikindluse ja materjalide puhtuse osas.
SiC keraamiline materjal on kõrge temperatuuritaluvusega ja säilitab oma struktuurse stabiilsuse kõrge temperatuuriga keskkondades. Selle suurepärane soojusjuhtivus võimaldab kiiresti hajutada adsorptsiooni käigus tekkivat soojust, vältides tooriku ülekuumenemist. Materjali erakordne kõvadus muudab selle sobivaks karedate või kõvade töödeldavate detailide haaramiseks. Lisaks muudab SiC keraamilise materjali keemiline inertsus selle vastupidavaks tugevate hapete, tugevate leeliste ja orgaaniliste lahustite korrosioonile. Selle materjali madal lisandite sadenemise jõudlus väldib lisanditega saastumist ja pikendab seadmete normaalset tööaega, täites pooljuhtide tööstuse ülipuhtuse nõuded.
Semicorexi ränikarbiidist padrunite tüüpilised omadused
1. Kõrge täpsus: tasasus on 0,3-0,5 μm.
2.Peegli poleerimine
3.Ülikerge kaal
4. Kõrge jäikus
5.Madal soojuspaisumistegur
6.Suurepärane kulumiskindlus
Rakendus Ränikarbiidist padrunite stsenaariumid
Pooljuhtide tootmine
Vahvlite teisaldamine ja töötlemine: sellistes protsessides nagu fotolitograafia ja söövitamine, peab vahvel olema stabiilselt adsorbeeritud vaakumkeskkonnas, et vältida nihkevigu.
Plasma korrosioonikindlus: pooljuhtide söövitusprotsessis võib suurepärane korrosioonikindlus pikendada toote kasutusiga.
Fotogalvaaniliste elementide tootmine
Räniplaatide lõikamine: Adsorbeerib räniplaadid, et seista vastu lõikamisvibratsioonile ja vähendada räniplaatide killustumist.
Täppisoptika ja elektroonika tootmine
Safiirsubstraadi töötlemine: LED-kiibi valmistamisel kasutatavad safiirsubstraadid nõuavad vaakum-adsorptsiooni. Adsorptsioonijõud peab ületama aluspinna raskuse ja vältima toote pinna kriimustamist.
Ränikarbiidist padrunid on muutunud tipptasemel tootmise valdkonna peamisteks kulumaterjalideks tänu oma suurepärasele jõudlusele, edendades tehnoloogilist arengut sellistes tööstusharudes nagu pooljuhid, fotogalvaanika ja retsiontootmine.