Al2O3 vaakumtükid

Semicorex al₂o₃ Vaakumkatted on täpsed mikropoorsed keraamilised komponendid, mis on välja töötatud pooljuhtide tööstuses vahvli käitlemiseks, fikseerimiseks ja töötlemiseks. Mustast alumiiniumoksiidist, mille kontrollitud poorsusega on 35–40%, on see äärmiselt stabiilne, puhas ja usaldusväärne keskkond vaakum adsorptsiooniprotsesside jaoks. Chuck ühendab substraadi keraamilise töötlemise funktsionaalsele pinnale, kasutades täiustatud tootmistehnikaid, et pakkuda kasutaja habras vahvli jaoks ühtlast imemise jõudlust kriitiliste protsesside etappide ajal.

Mustalumiiniumoksiid (al₂o₃);; Sellel on metallide ja polümeeridega võrreldes ainulaadne mehaanilise tugevuse, kareduse ja keemilise takistuse tasakaal. Mikropoorne struktuur on optimeeritud kontrollitud poorsuse tagamiseks, et tagada vaakumi järjepidev jaotus vaakumpüüri pinnal. Järjepidev vaakumjaotus kogu vahvli padruni täispindala jooksul minimeerib lokaliseeritud pingekontsentratsiooni, piirates vahvli moonutuste, servade hakkimise ja purunemise riski. Kuna vahvli valmistamine ulatub läbimõõduga jätkuvalt ning geomeetriad ja seadmed muutuvad habrasemaks, muutuvad protsessi saagis ja paranenud vahvli käitlemise usaldusväärsus muutub kriitilisteks nõueteks.

Kontrollitud poorsus on 35–40%, on selle vaakumpotti peamine omadus. Optimeeritud pooride võrk võib turbulentsi minimeerida õhu evakueerimise ajal pooride piirkonnast ja säilitada hoidejõud, säilitades samal ajal mehaanilise tugevuse ja vastupidavuse. Seevastu mehaanilised klambrid kasutavad taldrikuid, mis põhjustavad lokaliseeritud stressipunkte ja töötavad vastu vahvli mehaaniliste omaduste vastu. Seetõttu on mikropoorne alumiiniumoksiidi pind vahvleid tasapinnaline ja ebakõlaliselt mehaaniliste lähenemisviiside käigus parem. See loob täiusliku kandidaadi kõrgtehnoloogia pooljuhtide protsessidele, mis on kasuks vahvli tasasusest ja siledast hoidmisest, sealhulgas litograafiast, söövitamisest, ladestumisest ja metroloogiast.

Termilisest vaatenurgast on mustal alumiiniumoksiidi materjal suurepärane võime säilitada mõõtmete stabiilsus kõrgendatud temperatuuri ajal. Madala soojuspaisumise koefitsiendiga suudab vaakumpotk püsida täpseks isegi kütte- ja jahutustsüklite ajal, mis on kriitiline aspekt, mis on tingitud kiire temperatuuri kõikumisest, mis sageli ilmneb vahvli töötlemiskeskkonnas. Selle keraamika kõvadus ja kulumiskindlus suurendavad ka padruni pikaealisust, vähendades seadmeoperaatorite hooldussagedust ja vähendades omandiõiguse kogukulusid.

Alumiiniumoksiidi keraamika keemiline inersus on järjekordne oluline omadus. Pooljuhtide FAB -des peavad seadmete komponendid taluma agressiivseid kemikaale, puhastusvahendeid või plasmakeskkonda ilma halvenemiseta. Musta alumiiniumoksiidil on suurepärased omadused korrosiooni, oksüdatsiooni ja/või pinna saastumise vastu ning seega säilitab ergastatud töötsükli perioodidel struktuur ja struktuurne/faasiline stabiilsus. See omadus tähendab ka seda, et vahvleid ei saa saastuda, mis kaitseb vooluringi nende seadmete toimimise eest, ja usaldab ka puhaste ruumide protokolle.

AL₂O₃ VACUUM CHUCK -del pole ka suurepärane funktsionaalne jõudlus, vaid ka pinnaviimistlus on tihedalt kontrollitud. Viimistlus luuakse ülitäpse töötlemise ja poleerimisprotsesside abil, mis annavad ühtlase tasasuse ja sileduse, nii et õrnaid vahvleid saab hoida ilma kriimustuste ja pinnakahjustusteta. Materjali väga konstrueeritud poorsus annab sobiva tasakaalu imemise ja pinnakaitse vahel, võimaldades vahvlil piisavat hoidmisjõudu, vältides samal ajal õhukeste, rabedate substraatide kahjustusi.

Operatiivsest vaatenurgast on al₂o₃ vaakum -padrunid tänapäevase pooljuhtide tootmisel kriitilise komponendi. See hõlbustab automatiseerimist, võimaldades vahvleid korjata, paigutada, joondada ja töödelda, rahuldades protsessinõudeid usaldusväärselt. Alumiiniumoksiidi must värv aitab ka pragmaatilisi eeliseid, vähendades optiliste kontrollide ja mõõtmisprotsesside ajal valguse peegeldust, eriti kui kasutatakse ülitäpseid optilisi seadmeid.

Täiustatud keraamikatehnoloogia kombineerimine hästi läbimõeldud disainiga on andnud al₂o₃ vaakum-padrunites pikaajalises ja suure jõudlusega lahenduses pooljuhttootjate vahvlite käitlemise väljakutseid. AL₂O₃ VACUUM CHUCKS parandab tootlikkust vähenenud vahvli kadumise kaudu, vähendab vastupidavuse tõttu seisakuid ja suurendab protsessi stabiilsust, pakkudes järjepidevat vaakumjõudu.

Semicorex al₂o₃ vaakumpuhad, mis on valmistatud mikropoorsest mustastalumiiniumoksiidon midagi enamat kui lihtsalt kinnitus; See on Precision Semiconductor Manufacturing kriitiline võimaldaja. Oma optimeeritud poorsuse, erakordsete materiaalsete omaduste ja tugeva jõudlusega tagab see usaldusväärse vahvli käitlemise kõige nõudlikumates valmistamisprotsessides. Tootjate jaoks, kes soovivad saavutada suuremat saagist, paremat protsessi tõhusust ja paremat seadme jõudlust, on musta alumiiniumoksiidi vaakum Chuck hädavajalik valik.