SIC -i kaetud vahvliloojad

Semicorex SIC -kattega vahvliloojad on loodud vastama edasijõudnute pooljuhtide tootmisele, eriti survevabade ultratseadsete kilede sadestussüsteemides. Täpsusega kujundatud, pakuvad nad suurepäraseid soojusliku jõudluse, keemilise vastupidavuse ja mehaanilist stabiilsust-see on oluline järgmise põlvkonna keskkondade jaoks õhukese kile töötlemise jaoks.

Sadestumistehnikates, mis ei kasuta rõhu, nagu aatomkihi ladestumine (ALD), keemilise aurude sadestumine (CVD) ja väga õhukeste kilede füüsiline aurude ladestumine (PVD), on peamised nõuded ühtlase temperatuuri jaotuse ja pinna stabiilsuse ühtseks. Meie vastuvõtja disaini ainulaadsus seisneb selles, et see hõlmab kõrge puhtusega poorset substraati, mis võimaldab tal tõhusalt töötada vaakumi- või vagiumi tingimustes, vähendades sellega soojuspinget ja tagades ühtlase energia ülekande vahvli pinna kohal.

Mitme auguga struktuur on peamine uuendus: see aitab vähendada termilist massi, soodustab isegi gaasi voolu jaotust ja leevendab rõhu kõikumisi, mis muidu võivad sadestumise ühtlust kahjustada. See struktuur aitab kaasa ka kiiremale termilisele tõukele ja jahutuse tsüklitele, suurendades üldist läbilaskevõimet ja protsessi juhtimist.

Pakume mitmesuguseid sadestussüsteemi disainilahenduste ja vahvli mõõtmetega mitmesuguseid vastuvõtja suurusi, geomeetriat ja poorsusastet. Meie tootmisprotsessi modulaarne olemus võimaldab kohandada kliendi õhukese kileprotsessi konkreetseid termilisi, mehaanilisi ja keemilisi nõudeid.

Semicorex SIC-i kattega vahvlikondceptor on kõrgjõudlusega lahendus, mis on kohandatud survevaba ultrahinaalsete filmide sadestumise ainulaadsetele väljakutsetele. Selle poorse konstruktsiooni disaini ja tugeva SIC-katte kombinatsioon pakub optimaalset tuge ülitäpsetele pooljuhtide tootmisprotsessidele, võimaldades kile paremat kvaliteeti, kõrgemaid saagiseid ja madalamaid tegevuskulusid.