Pannkoogi sustseptor vahvlite epitaksiaalseks protsessiks

Semicorex pancake susceptor for wafer epitaxial process is a high purity graphite base by CVD SiC coated. Our pancake susceptor for wafer epitaxial process has a good price advantage and cover most of the European and American markets. We look forward to becoming your long-term partner in China.

Saada päring

Tootekirjeldus

Vahvelepitaksia on tehnika, mida kasutatakse kvaliteetsete kristallkilede kasvatamiseks pooljuhtsubstraadil. See hõlmab substraadi asetamist reaktorikambrisse ja selle eksponeerimist kontrollitavasse keskkonda, kus soovitud materjal sadestatakse kihthaaval.

Vahvlite epitaksiaalse protsessi pannkoogi sustseptor on grafiidisustseptori ümmargune kuju, mida kasutatakse erinevates pooljuhtprotsessides, nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD) või füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD), et suurendada temperatuuri ühtlust ja soodustada kile kasvu.