Pooljuhtkvartsist kellapurk

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar on tavaliselt valmistatud sünteetilisest sulatatud kvartsist, materjalist, mis on tuntud oma erakordse puhtuse, kõrge temperatuurikindluse ja madala soojuspaisumise omaduste poolest. See tagab, et kamber ei too pooljuhtide valmistamise protsessi saasteaineid ega lisandeid.

Pooljuhtkvartsist kellapurk on tavaliselt silindri- või kuplikujuline, lameda või kergelt kumera põhjaga, et mahutada pooljuhtplaate või substraate. Sellel on täpselt konstrueeritud õhutihe tihendusmehhanism, näiteks äärik või O-rõngastihend, mis säilitab töötlemise ajal kambris vaakumi või kontrollitud atmosfääri.

Semiconductor Quartz Bell Jar pakub suurepärast optilist selgust, võimaldades operaatoritel kambris toimuvaid protsesse visuaalselt jälgida ilma täpsust kahjustamata või häireid tekitamata. Kvarts on väga vastupidav enamiku pooljuhtide valmistamise protsessides kasutatavate hapete, aluste ja lahustite keemilisele rünnakule. See tagab kambri terviklikkuse ja hoiab ära substraatide saastumise.

Kvartsil on kõrge sulamistemperatuur ja termiline stabiilsus, mis võimaldab pooljuhtkvartsist kellapurgil taluda kõrgendatud temperatuure sadestamise või lõõmutamise käigus ilma deformatsiooni või lagunemiseta.

Rakendused:

Sadestamine: pooljuhtkvartsist kellapurke kasutatakse mitmesugustes sadestamistehnikates, nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD) ja aatomkihtsadestamine (ALD), et sadestada materjalist õhukesi kilesid täpselt ja ühtlaselt pooljuhtalustele.

Söövitamine: neid kasutatakse plasmasöövitusprotsessides materjali valikuliseks eemaldamiseks pooljuhtplaatidelt, luues keerukaid mustreid ja struktuure, millel on suur täpsus ja korratavus.

Lõõmutamine: Lõõmutamisprotsessides kasutatakse pooljuhtvahvlite kontrollitud termilist töötlemist, hõlbustades kristalliseerumist, lisandi aktiveerimist ja pingete leevendamist ladestatud kiledes.