15-tolline kvartskella purk

Semicorex 15" Quartz Bell Jar on loodud nendele väljakutsetele vastama, pakkudes suure jõudlusega lahendust keskmise ja suuremahulise partiitöötluse jaoks, kus termiline ühtlus ja materjali puhtus on saagikuse maksimeerimiseks olulised. Pooljuhtide ja õhukese kiletööstuses on protsessikambri terviklikkus ülimalt tähtis. Kuna vahvlite mõõtmed suurenevad ja kahanevad puhtad, ja ei vaja enam. inertne keskkond muutub mittekaubeldavaks.

1. Materjaliteadus: sulatatud ränidioksiidi puhtus

Meie kellapurgi alus on kõrge puhtusastmegasulatatud ränidioksiid (kvarts). Erinevalt tavalisest klaasist koosneb kvarts peaaegu täielikult SiO2-st, pakkudes ainulaadseid omadusi, mis on pooljuhtide valmistamisel üliolulised:

Väga madal saastatus: meie kvartsi töödeldakse metalliliste mikroelementide (nagu Al, Fe, Na ja K) minimeerimiseks miljardite osade (ppb) tasemele. See hoiab ära lisandite difusiooni vahvlisse kõrge temperatuuriga tsüklite ajal, tagades seadmete elektrilise terviklikkuse.

Suurepärane soojusšokikindlus: kvartsil on nullilähedane soojuspaisumise koefitsient (CTE). See võimaldab 15-tollisel Quartz Bell Jaril taluda kiiret temperatuuri tõusu ja summutamist, ilma et tekiks purunemise või konstruktsiooni väsimuse oht – see on suure läbilaskevõimega reaktorite jaoks kriitiline nõue.

Suurepärane keemiline inertsus: Kvarts on väga vastupidav enamikele hapetele (välja arvatud vesinikfluoriidhape) ja söövitavatele protsessigaasidele, tagades, et kamber ei lagune ega eraldu agressiivsete söövitus- või sadestamistsüklite ajal.

2. Täppistehnika ja optiline selgus

15-tolline Quartz Bell Jar pakub maksimaalset mahtu ja optimaalset gaasivoolu dünaamikat partiide vahvlite töötlemiseks. Purgil on vertikaalne korsten (tuntud ka kui kael), mis on optimaalselt konstrueeritud nii, et see tagab gaasi sisselaske või aitab kaasa gaasi eemaldamisele purgist vaakumi kaudu, mis on näidatud ülaloleval pildil.

Optiline läbipaistvus – ülekande kõrge tasekvarts materjallainepikkuste kiirgamine spektri ultraviolett-, nähtava- ja infrapunapiirkondades võimaldab nii reaalajas töötlemist kui ka väliste lampsoojendite kasutamist kiireks termiliseks töötlemiseks (RTP).

Tugevdatud tihenduspinnad – purgi kaelal on spetsiaalselt välja töötatud läbipaistmatu valge tihend (nimetatakse ka maaühenduseks), mis tagab hermeetilise (õhukindla) ja vaakumtiheda liidese reaktori alusplaadi ja purgi vahel.

Lõõmutamine stressi leevendamiseks – kõik 15-tollised Quartz Bell Jar läbivad range termilise lõõmutamise protsessi, et leevendada sisemist mehaanilist pinget, mis on purgi puhumise või vormimise käigus tekkinud purgile, vähendades seega oluliselt võimalust, et purk vaakumkoormusele asetades spontaanselt rikki läheb.

3. Semiconductor Fab kriitilised rakendused

Meie 15-tolline Quartz Bell Jar on spetsiaalselt loodud integreerimiseks järgmistesse suure väärtusega protsessidesse:

Silicon Epitaxy: läbipaistva, mittereaktiivse anuma pakkumine kvaliteetsete ühekristalliliste ränikihtide kasvatamiseks.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): talub söövitavat plasmakeskkonda, säilitades samal ajal kõrge dielektrilise tugevuse.

Difusioon ja oksüdatsioon: toimib puhta ja kõrge kuumusega kambrina väravaoksiidide moodustamiseks ja lisandite sissevooluks.

Optiliste kiudude eelvormide tootmine: ideaalne ränidioksiidi kihtide kõrge puhtusastmega sadestamiseks eriklaasi tootmisel.

Semicorexis käsitleme iga kellapurki täppislaboriseadmena. Meie protsess hõlmab järgmist: range materjali hankimine kontrollitud elektroonilise kvaliteedigakvartsvaluplokid; täiustatud valmistamine, mis ühendab traditsioonilised klaasipuhumisoskused CNC-juhitava lihvimise ja poleerimisega; ja põhjalik kontroll polariseeritud valguse abil jääkpinge tuvastamiseks ja laserinterferomeetria täpseks mõõtmete kontrollimiseks.