Pooljuht-kvaliteediga kvartsist difusioonitorud

Kvartspaadidkasutatakse tavaliselt kõrge temperatuuriga karmide keemilise korrosiooni tingimustes. Operatsiooni käigus asetatakse pooljuhtplaadid kvartspaati ja sisestatakse kvartsist difusioonitorusse. Kui difusioonitoru saavutab vajaliku temperatuuri (mitusada kuni mitu tuhat kraadi Celsiuse järgi), juhitakse protsessigaasid (nt O2, N2, H2, Ar) ja lisandgaasid (nt POCl3, BBr3) kvartsdifusioonitorusse läbi gaasiavade, mis teostavad difusiooni ja oksüdatsiooni. Lisaks tuleb difusiooni ühtluse ja täpsuse parandamiseks läbi viia mõned difusiooniprotsessid madala rõhuga keskkonnas. 

Täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessides võivad nende protsesside väikesed vead või puudused põhjustada järgmiste protsesside ebaõnnestumist. Seetõttu on kvartsist difusioonitorude kvaliteet pooljuhtide tootmise olulise osana olulise tähtsusega ning mõjutab otseselt pooljuhtseadmete tootlikkust ja jõudlust.

Semicorexi spetsifikatsioonid Pooljuht-klassi kvarts

Semicorexi pooljuhtkvaliteediga kvartsdifusioonitorud on hoolikalt valmistatud kõrge kvaliteedigapooljuhtkvaliteediga kvartsmaterjalist. Järgmised on selle konkreetsed parameetrid:

Parameetreid saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele.

Semicorex Semiconductor-Grade kvartsdifusioonitorude jõudlus

Tuginedes meie kogenud töötlemistehnoloogiale ja usaldusväärsele materjalivalikule, Semicorexi pooljuhtklassigakvartsist difusioonitorudnäidata suurepärast jõudlust keerulistes töötingimustes:

1. Kõrge temperatuuri vastupidavus

Semicorexi pooljuhtkvaliteediga kvartsist difusioonitorud pakuvad märkimisväärset vastupidavust kõrgele temperatuurile, mis võimaldab neil stabiilselt töötada kõrge temperatuuriga keskkondades kuni 1200 ℃ ilma deformatsiooni või kahjustusteta.

2. Soojusstabiilsuse jõudlus

Erakordse soojuspaisumise koefitsiendiga Semicorexi pooljuhtkvaliteediga kvartsdifusioonitorud on võimelised taluma termilist pinget kiire kuumutamise või jahutamise ajal ilma kergesti pragunemata või deformeerumata.

3. Keemiline vastupidavus

Semicorexi pooljuhtkvaliteediga kvartsist difusioonitorud tagavad kõrgel temperatuuril ja karmis söövitavas keskkonnas suurepärase keemilise inertsuse. See jõudlus takistab oluliselt nende reaktsioonil protsessigaasidega tekkivatel saasteainetel, mis mõjutavad vahvli kvaliteeti.