Tootekirjeldus

Semicorexi kvartsahju toru, vahvlipaadid, räni monokristallide kasvatamiseks mõeldud kvartstiiglid on kõik valmistatud kõrge puhtusastmega materjalistkvartsmaterjall. Kvartsi kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tööstuses, kõrge puhtusastmega kvarts on vahvlite valmistamisel oluline tarbematerjal. Kvartsist osade peamine sihtturg pooljuhtide valdkonnas on difusiooni- ja söövitusprotsess vahvlite valmistamisel, selle võib jagada kahte põhikategooriasse: kõrge temperatuuriga osad ja madala temperatuuriga osad.

1. Kõrge temperatuuriga osad on kvartsahju toru, vahvlipaat, paadihoidja jne. Need peavad kõrgtemperatuurilises keskkonnas ränivahvliga otseselt või kaudselt kokku puutuma, on peamiselt valmistatud sulatatud kvartsklaasist, mis on toodetud termilise töötlemise teel.

2. Madala temperatuuriga osad on söövitusprotsessis kasutatavad kvartsrõngad, sealhulgas kassetid, puhastuspaagid. Neid kasutatakse peamiselt madala temperatuuriga keskkonnas, mis on peamiselt valmistatud külmtöötluse teel toodetud sulatatud kvartsklaasist.

4. Hea valguse läbilaskvus. Kõrge puhtusastmega kvartsil on hea valguse läbilaskvus kogu spektris ultraviolettkiirgusest infrapunani. Nähtava valguse läbilaskvus on üle 93% ja ultraviolettspektris võib maksimaalne läbilaskvus ulatuda üle 80%.

Ahi on piirkond, kus vahvlid läbivad kõrge temperatuuriga kuumutamisprotsessi, mis koosneb kvartsahju torust, reaktorist ja mitmest küttekehast, seda kasutatakse laialdaselt difusiooni-, oksüdatsiooni- ja RTP-protsessides pooljuhtide töötlemisel. Ahi jaguneb peamiselt horisontaalseks ja vertikaalseks tüübiks:. Horisontaalses ahjus asetatakse vahvlid kvartspaadile, mis omakorda asetatakse SiC kandjale. Ees ja taga on ka adaptiivsed deflektorid. Kandur surutakse kvartsahju torusse ja vahvlid läbivad reaktsiooni konstantse temperatuuriga tsoonis. Vertikaalses ahjus asetatakse vahvlid kvartstornile ja tõstetakse seejärel aeglaselt töötlemiseks kvartsahju torusse.

Eespool nimetatud protsessidega kaasnevate kõrgete temperatuuride tõttu tuleks kvartsahju toru tõsise deformatsiooni ja kokkuvarisemise vältimiseks pärast korduvat ja pikaajalist kasutamist kasutada tootmisel deformatsiooni- ja kokkuvarisemiskindlat ning pika kasutuseaga kvartsahju toru.

Siin on eelisedkvartsahju toru:

1. Kõrge temperatuuritaluvus. Kvartsklaasi pehmenemistemperatuur on ligikaudu 1730 ℃ ja seda saab kasutada pikema aja jooksul 1150 ℃ juures, lühiajaline maksimaalne temperatuur ulatub 1450 ℃.

2. Korrosioonikindlus. Kõrge puhtusastmega kvarts, välja arvatud vesinikfluoriidhape, ei reageeri peaaegu keemiliselt teiste happeliste ainetega. Kõrgetel temperatuuridel talub see korrosiooni väävelhappe, lämmastikhappe, vesinikkloriidhappe, aqua regia, neutraalsete soolade, süsiniku ja väävli poolt. Selle happekindlus on 30 korda suurem kui keraamikal ja 150 korda roostevaba terasel. Selle keemiline stabiilsus, eriti kõrgetel temperatuuridel, on võrreldamatu ühegi teise ehitusmaterjaliga.

3. Hea termiline stabiilsus. Kõrge puhtusastmega kvartsil on äärmiselt madal soojuspaisumistegur ja see talub drastilisi temperatuurimuutusi. Kõrge puhtusastmega kvartsi kuumutamine temperatuurini umbes 1100 ℃ ja seejärel toatemperatuuril vette kastmine ei põhjusta selle purunemist.

4. Hea valguse läbilaskvus. Kõrge puhtusastmega kvartsil on hea valguse läbilaskvus kogu spektris ultraviolettkiirgusest infrapunani. Nähtava valguse läbilaskvus on üle 93% ja ultraviolettspektris võib maksimaalne läbilaskvus ulatuda üle 80%.

5. Hea elektriisolatsiooni jõudlus. Kõrge puhtusastmega kvartsi eritakistus on kümme tuhat korda suurem kui tavalisel kvartsklaasil, mistõttu on see suurepärane elektriisolatsioonimaterjal, millel on head elektrilised omadused ka kõrgetel temperatuuridel.