Semicorex SiC kaetud RTP kandeplaat epitaksiaalseks kasvuks on ideaalne lahendus pooljuhtplaatide töötlemiseks. Kvaliteetsete süsinikgrafiidisustseptorite ja MOCVD-ga töödeldud kvartstiiglitega grafiidi, keraamika jne pinnal on see toode ideaalne vahvlite käitlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks. SiC-ga kaetud kandja tagab kõrge soojusjuhtivuse ja suurepärased soojusjaotusomadused, muutes selle usaldusväärseks valikuks RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Loe rohkemSaada päring