Tooted

Kõrge jõudlusega CVD SiC materjalidest valmistatud Semicorex CVD SiC fookusrõngas 2L10-506419-21 jaoks on oluline rõngaosa, mis on loodud spetsiaalselt TEL VIGUS RK4 seadmete jaoks, mida kasutatakse täppispooljuhtide söövitamise protsessides. Semicorexi valimine tähendab, et saate ideaalsed CVD SiC lahendused täpsete ja ühtlaste söövitustulemuste saavutamiseks.

Semicorexi SiC-kattega planetaarsed sustseptorid on ülitäpsed grafiiti kandvad komponendid, mis on kaetud tiheda ränikarbiidkattega, mis on spetsiaalselt loodud täiustatud MOCVD-seadmete jaoks. Need võivad võimaldada ühtlast gaasivoolu ja soojusjaotust, aidates seega kaasa optimaalse epitaksiaalse keskkonna loomisele.

Semicorex SiC keraamilised vahvelpaadid on suure jõudlusega ränikarbiidi lahendused, mis on loodud vahvlite ohutuks toetamiseks ja transportimiseks tipptasemel pooljuhtide valmistamise ajal. Tänu nendele suurepärastele eelistele sobivad need hästi täpsete kõrge temperatuuriga pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks, nagu oksüdatsiooni-, difusiooni- ja CVD-protsessid.

Semicorexi SiC-ga kaetud gaasi suunamise kettad on pooljuhtide epitaksiaalseadmetes kasutatavad asendamatud grafiidikomponendid, mis on spetsiaalselt loodud reaktsioonigaasi voolu reguleerimiseks ja gaasi ühtlase jaotumise soodustamiseks reaktsioonikambris. Valige Semicorex, valige optimaalsed gaasi suunamise lahendused kvaliteetsete vahvlite epitaksiaalsete tulemuste saamiseks.

Semicorex SiC Wafer Carrier on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidi keraamikast, kasutades 3D-printimise tehnoloogiat, mis tähendab, et see suudab lühikese aja jooksul saavutada väärtuslikke töötlemiskomponente. Arvatakse, et Semicorex pakub oma ülemaailmsetele klientidele kvalifitseeritud kvaliteetseid tooteid.*

Semicorex CVD SiC-kattega ülemised maandatud rõngad on olulised rõngakujulised komponendid, mis on loodud spetsiaalselt keerukate plasmasöövitusseadmete jaoks. Valdkonna juhtiva pooljuhtkomponentide tarnijana keskendub Semicorex kvaliteetsete, kauakestvate ja ülipuhaste CVD SiC-kattega ülemiste maarõngaste tarnimisele, et aidata meie hinnatud klientidel parandada töötõhusust ja üldist tootekvaliteeti.