Tooted

Semicorex RTP SIC-katteplaadid on suure jõudlusega vahvli kandjad, mis on valmistatud kasutamiseks kiirete termiliste töötlemise keskkondade nõudmiseks. Juhtivad pooljuhtide tootjad usaldavad Semicorex parema termilise stabiilsuse, vastupidavuse ja saastekontrolli, mida toetavad ranged kvaliteedistandardid ja täpsustootmine.

Semicorex RTP Ring on SiC-ga kaetud grafiitrõngas, mis on loodud suure jõudlusega rakenduste jaoks kiirtermilise töötlemise (RTP) süsteemides. Valige meie täiustatud materjalitehnoloogia jaoks Semicorex, mis tagab pooljuhtide valmistamisel suurepärase vastupidavuse, täpsuse ja töökindluse.*

Semicorexi RTP Graphite Carrier Plate on ideaalne lahendus pooljuhtplaatide töötlemiseks, sealhulgas epitaksiaalseks kasvatamiseks ja vahvlite töötlemiseks. Meie toode on loodud pakkuma suurepärast kuumakindlust ja termilist ühtlust, tagades, et epitaksia sustseptorid on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlusega ladestuskeskkonnas.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier pakub suurepärast kuumakindlust ja termilist ühtlust, muutes selle ideaalseks lahenduseks pooljuhtplaatide töötlemiseks. Kvaliteetse SiC-ga kaetud grafiidiga toode on loodud taluma epitaksiaalse kasvu kõige karmimat sadestuskeskkonda. Kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused tagavad usaldusväärse jõudluse RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse korral.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier on konstrueeritud nii, et see taluks sadestamiskeskkonna kõige raskemaid tingimusi. Kõrge kuuma- ja korrosioonikindlusega toode on loodud pakkuma optimaalset jõudlust epitaksiaalseks kasvuks. SiC-ga kaetud kandjal on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis tagab usaldusväärse jõudluse RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse korral.

Semicorex SiC Graphite RTP kandeplaat MOCVD jaoks pakub suurepärast kuumakindlust ja termilist ühtlust, muutes selle ideaalseks lahenduseks pooljuhtplaatide töötlemiseks. Kvaliteetse ränidioksiidiga kaetud grafiidiga toode on konstrueeritud nii, et see talub epitaksiaalset kasvu kõige karmimat sadestuskeskkonda. Kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused tagavad usaldusväärse jõudluse RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse korral.