PFA vahvli kandjad

Semicorex PFAVahvli kandjadon suure jõudlusega kandjad, mis on mõeldud pooljuhtide vahvlite ohutuks käitlemiseks, ladustamiseks ja transportimiseks ülikerge keskkonnas. Täiustatud pooljuhtide tootmine tagab, et PFA vahvlite kandjad pakuvad vahvlite terviklikkusest ja puhtusest alates valmistamise ajal kuni lõpliku katsetamiseni võrreldamatut keemilist takistust, termilist stabiilsust ja osakeste kontrolli.

Uuest PFA -st valmistatud vahvli kandjad näitavad suurt vastupidavust karmidele kemikaalidele nagu tugevad happed, alused ja lahustid, mida tavaliselt kasutatakse vahvlite puhastamisel ja söövitamisel. PFA väga madala ioonide leostumise ja väljavoolu omadused muudavad selle eelistatud materjaliks oluliste puhaste ruumide ülesannete jaoks, kus isegi pisikesed kogused saasteained võivad mõjutada seadme saagist.

PFA vahvli kandjad on valmistatud puhtates tubades ja töötavad 1. klassi (ISO klass 3) puhta ruumi standarditega. PFA sujuv, mittekleepuv pind minimeerib osakeste genereerimist ja adhesiooni, hoides ära jääkidest või tahketest osakestest saastumist. Lisaks hõlbustab PFA hüdrofoobne olemus põhjalikku loputamist ja kiiret kuivatamist, vähendades veelgi ristsaastumise riski niiske töötlemisetappide ajal.

Iga PFA vahvli kandja on täpselt valmistatud, et veenduda vahvlite ohutu ja isegi liikumise ja hoidmise ajal. Soonega pesad aitavad vahvleid vähese kontaktiga, vähendades vahvlite servadele stressi ja hakkimist. Kandjad on mitmesuguste kujudega, mis sobivad erineva suurusega vahvleid, mis sisaldavad 100 mm, 150 mm, 200 mm ja 300 mm läbimõõtu. Valikulised tipud ja kitsad lukustamisviisid annavad lisaohutuse keskkonnaga kondiitritoodete, vibratsiooni ja kokkupuute eest.

PFA suurepärase soojusresistentsuse tõttu kuni 260 ° C ühildub kõrgete temperatuuridega protsessidega nagu difusioon, oksüdeerimine ja keemiline aurude ladestumine CVD. Kandja säilitab oma konstruktsiooni terviklikkuse korduva termilise tsükli korral ja sobib seetõttu nii partiid kui ka automatiseeritud töötlemiskeskkonda.

PFA vahvli kandjatel on laiad rakendused vahvli puhastamisel, niiske söövitamisel, fotolitograafia CMP-l ning muud esi- ja tagaprotsessid IC-valmistamisel. Nende tugev disain ja puhtus muudavad need ideaalseks kasutamiseks FAB -de, teadus- ja arendustegevuse laborites ja originaalseadmete tootjate seadmetes, mis nõuavad rangeid saastekontrolli protokolle.

KohandatudPFA vahvli kandjadSaab välja töötada konkreetsete automatiseerimisnõuete, sealhulgas robotikäitlemise, rajalüsteemide ja vertikaalse/horisontaalse transpordi täitmiseks. Kandjad ühilduvad täielikult vahvli käitlemise seadmete ja pooljuhtide tootmise tööriistadega.