Erinevat tüüpi reaktorite struktuursed erinevused

Reaktsioonikambri konfiguratsiooni alusel jagunevad kuumtöötlusseadmed (ahjutoru seadmed) peamiselt kolme kategooriasse: vertikaalsed ahjutorud, horisontaalsed ahjutorud ja kiirtermilise töötlemise (RTP) ahjud.

Vertikaalsetel ahjutorudel on vertikaalselt paigutatud kvartstorud, kus kütmiseks on torude ümber asetatud vahvlid. Nende peamised eelised on ühtlane temperatuurijaotus, täpne atmosfääri reguleerimine, kõrge automatiseeritus, väiksem tahkete osakeste saastumine, väike jalajälg ja partiitöötluse tugi (sobib eriti 12-tolliste vahvlite jaoks), muutes need praegu saadaolevateks peavooluseadmeteks. Maailmaturu suurus ulatus 2024. aastal 3,2 miljardi dollarini (SEMI andmed). Nende puudused hõlmavad gaasi ja vedeliku lihtsat eraldamist ja keskkonna allapoole suunatud voolu, mis võib põhjustada ahju toru läbipõlemise.

Horisontaalsetes ahjutorudes on horisontaalselt paigutatud kvartstorud, töödeldes korraga 100-200 vahvlit. Nende eelised hõlmavad ühtlast gaasi-vedeliku voolu ahju torus ja täpsemat temperatuuri reguleerimist. Nende puudusteks on suurem jalajälg ja kõrge legeeritud terasest vahetorude tugede tarbimine. Struktuurselt asetavad horisontaalsed ahjutorud vahvlid töötlemiseks vertikaalselt horisontaalsete torude sisse.

Kiire termilise lõõmutamise (RTP) ahjudes kasutatakse üksikute vahvlite kiireks soojendamiseks halogeen-infrapunalampe, pakkudes kiiret kuumenemis- ja jahutuskiirust, mis muudab ainult vahvli temperatuuri ilma kambri temperatuuri muutmata. Need sobivad väikese partii kiireks lõõmutamiseks, kuid mitte masstootmiseks.

Vahvlitöötlemisel asetavad horisontaalsed ahjutorud vahvli kvartspaadile, mis omakorda toetub ränikarbiidist (SiC) tugiraamile. Seejärel surutakse tugiraam kvartsahju torusse, kus vahvel läbib reaktsiooni konstantse temperatuuriga tsoonis. Vertikaalsed ahjutorud aga asetavad vahvli kvartstornile ja tõstavad aeglaselt töötlemiseks kvartsahju torusse. Pärast reaktsiooni lastakse vahvel aeglaselt alla, et vältida paindumist või purunemist.

Semicorex tarnib kvaliteetseid kohandatud tooteidkvartsahju reaktor. Meie tooted on konstrueeritud nii, et need tagaksid suurepärase termilise stabiilsuse, pikema kasutusea ja erakordse protsessi järjepidevuse. Kohandatud lahenduste või täiendava tehnilise teabe saamiseks võtke julgelt ühendust meie insenerimeeskonnaga.

Telefon: +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com