Elektrostaatilise padruni (ESC) struktuur

AnElektrostaatiline padrun (ESC)on seade, mida kasutatakse pooljuhtplaatide paigal hoidmiseks selliste protsesside ajal nagu söövitamine, sadestamine või poleerimine. See loob elektrostaatilise välja, mis tõmbab vahvlit padruni pinnale ja hoiab seda kindlalt, tagades stabiilsuse ja täpse joonduse vahvli käsitsemise ajal. ESC-sid kasutatakse pooljuhtide tootmises laialdaselt protsessi täpsuse ja vahvlite käsitsemise tõhususe parandamiseks.

Tavapärase tegelik piltelektrostaatiline padrun (ESC)on kujutatud joonisel. Peamine erinevus mudelite vahel seisneb isolatsioonikihi materjalis elektrostaatilise padruni pinnal. Joonisel tähistab tume värv alumiiniumnitriidi, valge aga alumiiniumoksiidi. Struktuurelektrostaatiline padrunkoosneb mitmest osast:

1. **Isolatsioonikiht**: see kiht on kontaktis vahvliga, mis on tavaliselt valmistatud alumiiniumnitriid- või alumiiniumoksiidkeraamikast tänu nende suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõrgele temperatuurile vastupidavusele ja heale soojusjuhtivusele.

2. **Ejector Pin ja He Gas Hole**: Ejektori tihvt on mõeldud vahvli teisaldamiseks. Kui vahvel siseneb söövituskambrisse, tõuseb ejektori tihvt selle toetamiseks ja seejärel langeb, et asetada vahvel elektrostaatilise padruni pinnale. Ejektori tihvtil on tavaliselt õõnes struktuur, mis võimaldab vahvli jahutamiseks lisada heeliumi.

3. **Tagasivoolu kanal**: see komponent suurendab soojuse hajumist ja hõlbustab vahvli adsorptsiooni.

4. **Elektrostaatiline elektrood**: see elektrood tekitab elektrivälja, mis loob elektrostaatilise jõu, mis on vajalik vahvli paigal hoidmiseks. Tavaliselt on elektrood tasapinnaline ja kas isoleermaterjali sisseehitatud või sellele sadestatud. Tavaliselt kasutatavad juhtivad materjalid on alumiinium, vask ja volfram.

5. **Tsirkuleeriv jahutusvesi ja kütteelektrood**: need elemendid vastutavad peamiselt elektrostaatilise padruni üldise temperatuuri reguleerimise eest. Kütteelektrood ja ringlev jahutusvesi töötavad koos, et säilitada vahvli jaoks stabiilne temperatuur. Ainult tsirkuleerivale jahutusveele lootmine võib põhjustada suutmatust hallata söövitusprotsessi käigus tekkivat soojust, mis võib protsessi stabiilsust kahjustada.  

Semicorex pakub kõrget kvaliteetiElektrostaatiline padrun (ESC). Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com