Lõõmutamisprotsessid kaasaegses pooljuhtide tootmises

Kuna tehnoloogilised sõlmed kahanevad jätkuvalt, on ülimadalate ristmike moodustamine märkimisväärseks väljakutseks. Termilise lõõmutamise protsessid, sealhulgasKiire termiline lõõmutamine (RTA)ja välklambi lõõmutamine (FLA) on olulised tehnikad, mis säilitavad kõrge lisandi aktiveerimise määra, minimeerides samal ajal difusiooni, tagades seadme optimaalse jõudluse.

1. Ülimalt madal ristmiku moodustumine:

Kuna tehnoloogilised sõlmed vähenevad, on ülimadalate ristmike moodustamine üha keerulisem. Sellised meetodid nagu kiire termiline lõõmutamine (RTA) ja välklambi lõõmutamine (FLA) on üliolulised lisandite suure aktiveerimise määra saavutamiseks, minimeerides samal ajal difusiooni, tagades seeläbi seadme optimaalse jõudluse.

2. Kõrgk-värava dielektrikute modifitseerimine:

Sadestamisjärgne lõõmutamine (PDA) suurendab märkimisväärselt kõrge k-ga paisu dielektrikute elektrilisi omadusi. See protsess vähendab värava lekkevoolusid ja suurendab dielektrilisi konstante, mis on täiustatud loogika- ja mäluseadmete jaoks üliolulised.

3. Metallsilitsiidide moodustumine:

Metallist silitsiidide, nagu CoSi ja NiSi, optimeerimine on kontakt- ja mahukindluse parandamiseks hädavajalik. Täpne kontroll lõõmutamistingimuste üle hõlbustab ideaalsete sulamifaaside loomist, suurendades seadme üldist tõhusust.

4. 3D-integratsiooni tehnoloogiad:

Sellistes tehnoloogiates nagu 3D NAND ja 3D DRAM tuleb lõõmutamisprotsesse rakendada mitmel kihil. Kiired termilised tehnikad mängivad võtmerolli iga kihi optimaalse jõudluse tagamisel.

Lõõmutamine on pooljuhtide valmistamisel kriitilise tähtsusega, võimaldades võrekahjustuste parandamist, lisandite aktiveerimist, kilede modifitseerimist ja metalli silitsiidide moodustumist temperatuuri, aja ja soojuseelarve täpse juhtimise kaudu. Kuna tehnoloogilised sõlmed kahanevad, on täiustatud lõõmutamismeetodid naguRTA, FLA ja laser spike anniilimine on muutunud peavooluks. Tulevikku vaadates jätkab lõõmutamisprotsess uuendusi, et vastata uute materjalide ja seadmete nõudmistele.

Semicorex pakub tööstusharu juhtivaid tooteidlõõmutamise lahused, tagades, et teie pooljuhtseadmed vastavad täpsuse ja töökindlusega kõrgeimatele jõudlusstandarditele.

Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com