Kuidas keraamilisi elektrostaatilisi padruneid tegelikult toodetakse?

Traditsioonilised vahvlite kinnitusmeetodid hõlmavad traditsioonilistes mehaanilistes tööstustes tavaliselt kasutatavat mehaanilist kinnitust ja vaha sidumist, mis mõlemad võivad vahvlit kergesti kahjustada, põhjustada väändumist ja saastada seda, mõjutades oluliselt töötlemise täpsust.

Kuidas vaakumpadrunid arenesid ja miksKeraamilised elektrostaatilised padrunidEelistatud?

Aja jooksul töötati välja poorsest keraamikast valmistatud vaakumpadrunid. Need padrunid kasutavad vahvli hoidmiseks ränivahvli ja keraamilise pinna vahel tekkivat negatiivset rõhku, mis võib põhjustada lokaalset deformatsiooni ja mõjutada tasasust. Seetõttu on viimastel aastatelkeraamilised elektrostaatilised padrunid, mis tagavad stabiilse ja ühtlase adsorptsioonijõu, takistavad vahvlite saastumist ja kontrollivad tõhusalt räniplaadi temperatuuri, on muutunud ideaalseteks kinnitusvahenditeks üliõhukeste vahvlite jaoks.

Kuidas toimub tootmisprotsessKeraamilised elektrostaatilised padrunidTeostatud?

Üldiselt kasutatakse mitmekihilise keraamika koospõletustehnoloogiat, mis hõlmab selliseid protsesse nagu lindi valamine, viilutamine, siiditrükk, lamineerimine, kuumpressimine ja paagutamine.

Coulombi tüüpi jaokselektrostaatilised padrunid, dielektriline kiht ei sisalda juhtivaid materjale. See hõlmab keraamiliste pulbrite, lahustite, dispergeerivate ainete, sideainete, plastifikaatorite ja paagutamise abiainete segamist, et luua stabiilne suspensioon. See suspensioon kaetakse seejärel teraga, kuivatatakse ja viilutatakse, et moodustada kindla paksusega keraamilised rohelised lehed. JR-tüübi jaokselektrostaatilised padrunid, segatakse J-R kihi nõutava takistuse saavutamiseks täiendavad takistuse regulaatorid (juhtivad materjalid), millele järgneb lindi valamine roheliste lehtede moodustamiseks.

Siiditrükki kasutatakse peamiselt elektroodikihi ettevalmistamiseks. Juhtiv pasta valatakse esmalt siiditrükiplaadi ühte otsa. Sõelprinteri kaabitsa toimel läbib juhtiv pasta sõelplaadi võrguavadest ja sadestub aluspinnale. Trükiprotsess on lõppenud, kui kaabits jaotab hõbedase pasta ühtlaselt läbi sõela.

Rohelised keraamilised lehed on virnastatud vajalikus järjekorras (aluskiht, elektroodikiht, dielektriline kiht) ja kihtide arvu järgi. Seejärel pressitakse need kokku kindlatel temperatuuri- ja rõhutingimustel, et moodustada terviklik roheline keha. Oluline on tagada, et rõhk jaotuks ühtlaselt kogu rohelise korpuse pinnale, et tagada tihendamise ajal ühtlane kokkutõmbumine.

Lõpuks läbib kogu roheline keha integreeritud paagutamise ahjus. Tuleb luua sobiv temperatuuriprofiil, et tagada tasasuse ja kokkutõmbumise kontroll paagutamisprotsessi ajal. On teatatud, et Jaapani NGK suudab reguleerida pulbri kokkutõmbumismäära paagutamise ajal umbes 10%-ni, samas kui enamiku kodumaiste tootjate kokkutõmbumismäär on endiselt 20% või rohkem.**

Meie, Semicorex, oleme kogenud lahenduste pakkumisel Keraamilised elektrostaatilised padrunidjamuud keraamilised materjalidmida kasutatakse pooljuhtide ja PV sektorites, kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon: +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com