Kvartsi mitmesugused rakendused pooljuhtide tootmisel

Esmapilgul,kvarts (SiO2) materjalnäeb välja väga sarnane klaasiga, kuid eriline on see, et tavaline klaas koosneb paljudest komponentidest (nagu kvartsliiv, booraks, boorhape, bariit, baariumkarbonaat, lubjakivi, päevakivi, sooda jne), samas kui kvarts sisaldab ainult SiO2 ja selle mikrostruktuur on lihtne võrk, mis koosneb ränidioksiidi tetraeedrilistest struktuuriüksustest.

Kuna selles sisalduvate metallide lisandite hulkkvartson väga väike ja selle puhtus on äärmiselt kõrge, kvartsil endal on omadused ja eelised, mida teised klaasid ei suuda näidata, ning seda tuntakse kui klaasmaterjalide "krooni". Näiteks kuumakindluse mõttes ei plahvata kvarts ka siis, kui see pärast tules punaseks põletamist kohe vette panna. Täpsemad eelised on järgmised:

1. Kõrge temperatuuritaluvus. Kvartsklaasi pehmenemistemperatuur on umbes 1730 ℃ ja seda saab pikka aega kasutada temperatuuril 1150 ℃ ja maksimaalne temperatuur võib lühikese aja jooksul ulatuda 1450 ℃.

2. Korrosioonikindlus. Kõrge puhtusastmega kvartsil, välja arvatud vesinikfluoriidhape, peaaegu puudub keemiline reaktsioon teiste happeliste ainetega. Kõrgel temperatuuril talub see väävelhappe, lämmastikhappe, vesinikkloriidhappe, aqua regia, neutraalsete soolade, süsiniku ja väävli korrosiooni. Selle happekindlus on 30 korda suurem kui keraamikal ja 150 korda roostevaba terasel. Eelkõige on selle keemiline stabiilsus kõrgetel temperatuuridel võrreldamatu ühegi teise ehitusmaterjaliga.

3. Hea termiline stabiilsus. Kõrge puhtusastmega kvartsil on väga väike soojuspaisumistegur ja see talub drastilisi temperatuurimuutusi. Kui kõrge puhtusastmega kvartsi kuumutada umbes 1100 °C-ni, ei plahvata see toasooja vette asetades.

4. Hea valguse läbilaskvus. Kõrge puhtusastmega kvartsil on hea valguse läbilaskvus kogu spektris ultraviolettkiirgusest infrapunani ja nähtava valguse läbilaskvus on üle 93%, eriti ultraviolettspektri piirkonnas, maksimaalne läbilaskvus võib ulatuda üle 80%.

5. Hea elektriisolatsiooni jõudlus. Kõrge puhtusastmega kvartsklaasi vastupidavus on 10 000 korda suurem kui tavalisel kvartsklaasil. See on suurepärane elektriisolatsioonimaterjal ja sellel on head elektrilised omadused ka kõrgetel temperatuuridel.

Tänu nendele suurepärastele füüsikalistele ja keemilistele omadustele kasutatakse kõrge puhtusastmega kvartsmaterjale laialdaselt kaasaegses elektroonikatehnoloogias, pooljuhtides, sides, elektrilistes valgusallikates, päikeseenergias, ülitäpsetes riigikaitse mõõteriistades, laboratoorsetes füüsikalistes ja keemilistes instrumentides, tuumaenergias, nanotööstus jne. Eelkõige on kiiresti arenevas pooljuhttööstuses räniplaatide mastaabid kasvanud, mistõttu on kiibitootjatel suur nõudlus erinevate kvartskomponentide järele. Samas tuleb ka tähele panna, et vältimaks saastumist töötlemisprotsessi käigus, tuleb kasutamise ajal tagada kvartsmaterjali kõrge puhtus.

Pooljuhtide tööstuses,kvartskasutatakse laialdaselt ja kõrge puhtusastmega kvartstooted on vahvlite tootmisel olulised tarbekaubad. Ränist monokristallide tootmiseks kasutatavad kvartsosad, nagu tiiglid, kristallpaadid ja difusioonahju südamikutorud, peavad kasutama kõrge puhtusastmega kvartsklaasist tooteid. Kvartsist osade peamine sihtturg pooljuhtide valdkonnas on difusiooni- ja söövitusprotsess vahvlivalukojas. Need võib jagada kahte kategooriasse: kõrge temperatuuriga tsooni seadmed ja madala temperatuuriga tsooni seadmed. Peamised kasutatavad seadmed on järgmised:

1. Kõrge temperatuuriga tsooni seadmed on peamiselt ahjutorud, klaaspaadid jne, mida kasutatakse difusioonoksüdatsioonis ja muudes lülides, mis peavad kõrge temperatuuriga keskkonnas olema otseselt või kaudselt kontaktis räniplaatidega; need on peamiselt ostetud sulatatud kvartsklaasist materjalid ja toodetud termilise töötlemise teel;

2. Madala temperatuuriga tsooni seadmed hõlmavad peamiselt söövitusprotsessis kasutatavaid kvartsrõngaid, samuti puhastusprotsessis kasutatavaid lillekorve ja puhastuspaake. Neid kasutatakse peamiselt madala temperatuuriga keskkondades. Peamiselt ostavad nad gaasiga rafineeritud kvartsklaasi ja toodetakse külmtöötlemise teel.

Semicorex pakub kõrget kvaliteetikvartsist osadpooljuhtide tasemel. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com