Mis on difusioonahi?

Difusioonahi on spetsiaalne seade, mida kasutatakse lisandite sisestamiseks pooljuhtplaatidesse kontrollitud viisil. Need lisandid, mida nimetatakse lisanditeks, muudavad pooljuhtide elektrilisi omadusi, võimaldades valmistada erinevat tüüpi elektroonilisi komponente. See kontrollitud difusiooniprotsess on transistoride, dioodide ja integraallülituste tootmisel kriitiline.

Difusioonahjud koosnevad mitmest võtmekomponendist, sealhulgas protsessitorudest, kütteelementidest, õhu sisselaskemehhanismidest ja juhtimissüsteemidest. Protsessitoru toimib kambrina, kuhu vahvel asetatakse. See talub kõrgeid temperatuure ja söövitavaid gaase, mistõttu on see selle rakenduse jaoks ideaalne materjal.

Kütteelemendid annavad vajaliku soojuse, et tõsta ahju temperatuur soovitud tasemele. Temperatuur difusioonahjudes on tavaliselt kuni 1200 °C. Ühtlase kuumutamise tagamiseks on kütteelemendid sageli paigutatud spiraalselt.

Gaasi sisselaskemehhanismi kasutatakse lisandigaasi sisestamiseks ahju. Tavalised lisandid hõlmavad boori, fosforit ja arseeni, olenevalt lõpp-pooljuhttoote soovitud elektrilistest omadustest. Juhtsüsteem reguleerib lisandigaasi voolu, säilitades täpse kontrolli difusiooniprotsessi üle.

Difusioonahjusid kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt. Neid kasutatakse dopinguprotsessis, mis loob transistorides ja dioodides pn-siirde. Difusioonahjud mängivad olulist rolli ka integraallülituste valmistamisel, kus on virnastatud ja omavahel ühendatud mitu kihti erinevaid pooljuhte.

Lisaks on difusioonahjud olulised täiustatud pooljuhtseadmete, näiteks võimsus-MOSFETide (metallioksiidi pooljuhtväljatransistorid) ja isoleeritud paisuga bipolaarsete transistorite (IGBT) tootmiseks. Need seadmed on jõuelektroonikas ja taastuvenergiatehnoloogias nii olulised, et difusioonahjud on nende tootmise lahutamatu osa.

Difusioonahjud on pooljuhtide valmistamisel kriitilised tööriistad, mis võimaldavad lisandite kontrollitud sisestamist pooljuhtplaatidesse. Need ahjud on erinevate pooljuhtseadmete, nagu transistorid, dioodid ja integraallülitused, tootmise lahutamatu osa. Tehnoloogia arenedes suurenevad difusiooniahjude võimalused jätkuvalt, võimaldades täpsemaid ja usaldusväärsemaid tootmisprotsesse. Pooljuhtide tööstus tugineb suurel määral nendele ahjudele, et rahuldada kasvavat nõudlust täiustatud elektroonikaseadmete järele.

Semicorex valmistab difusioonahjude jaoks kohandatud SiC osi. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com