2023-06-26
Töötlemise ajal tuleb pooljuhtplaate tavaliselt kuumutada spetsiaalses ahjus. Sellised ahjud koosnevad tavaliselt pikkadest õhukestest silindrilistest torudest. Vahvlid asetsevad ahjus ja reaktoris nii, et need on paigutatud piki ahju või reaktori ümmarguse ristlõikega määratletud tasapinda ja asetsevad eelnevalt kindlaksmääratud, tavaliselt võrdsete vahedega punktides piki ahju kesktelge. ahi või reaktor. Selle positsioneerimise saavutamiseks asetatakse vahvlid tavaliselt piludega hoidikutele, mida nimetatakse vahvlipaatideks, mis asetavad vahvlid vahedega, mis on joondatud piki kesktelge.
Väikesed paadid, mis sisaldavad töödeldavaid vahvlipartiisid, asetatakse pikkadele konsoollabadele, mille kaudu saab sisestada ja välja tõmmata torukujulisi ahjusid ja reaktoreid. Sellised labad sisaldavad tavaliselt lamedat kanduriosa, millele saab asetada ühe või mitu väikest paati, ja pikka käepidet, mis asub lameda kandeosa ühes otsas ja mille abil saab labasid käsitseda. Tavaliselt moodustatakse käepideme ja kandeosa vahele üleminekuosa, et muuta need tervikuks. Samuti peab käepide ulatuma ahjust või reaktorist välja, et seda ja vahvlipaati saaks käsitseda.
Vahvlilaeva positsioneerimine ahjus või reaktoris on oluline, kuna on soovitav asetada iga vahvli kese ahju või reaktori keskteljele võimalikult lähedale, et saavutada ühtsed töötlemistingimused, millele vahvlid allutatakse. Seetõttu tuleb labade konstruktsioonis arvestada laba paindumist, mis on põhjustatud vahvleid vedava laeva kaalust, seda enam, et laba on toestatud ainult ühest otsast, st sellest otsast, mis ulatub ahjukambrist välja. Lisaks töökaalu nõuetest tulenevale mõla konstruktsioonile tuleb kasutada ka klambrite komplekti, mis on ette nähtud laba pikendatud otsa täpseks paigal hoidmiseks. Need klambrid peavad olema üsna tugevad, et hoida aeru täpselt soovitud asendis, samas kui neid on lihtne kasutada ja minimeerida aeru kahjustamise võimalust kinnitamise ajal.
Seetõttu oli vaja konsoolaeru, mida saaks kasutada suurema koormusega, jäädes samal ajal ühilduma olemasolevate kinnitussüsteemidega. Samuti oli vajadus konsoollaba järele, millel oleks vastuvõetavad läbipaindeomadused kogu kasutatava kaalukoormuse ulatuses.
Cantilever mõla on soovitatav kasutada ümberkristalliseeritud ränikarbiidi õhukese CVD SiC kihiga, mis on kõrge puhtusastmega ja parim valik pooljuhtide töötlemise komponentide jaoks.
Semicorex võib pakkudakõrge kvaliteetkonsoolsed labadjakohandatud teenused vastavalt joonistele ja töökeskkonnale.