Mikropoorne keraamiline padrun

Semicorexi mikropoorne keraamiline padrun kui pooljuhtide vahvlite käsitsemise võtmekomponent. Mikropoorse keraamilise padruni südamikuna on mikropoorse keraamika augud tavaliselt väga väikesed, poorsus peab olema umbes 30–50%. Ava läbimõõt peab olema mikrotasandil, isegi nanotasandil. See võib tagada, et toorik on kindlalt vaakumpadruni külge kinnitatud, hoiab ära negatiivsete rõhkude tõttu pinna kriimustuste, mõlkide jms. Vahepeal on alumiiniumoksiidi vaakumpadruni kasutamine elektroonikakomponentide fotolitograafia protsessis tavaliselt vaja poorsetAlumiiniumoksiidi keraamikaPadruni padrun peab olema must, et vältida padrunilt peegelduva valguse põhjustatud häireid.

Kuna struktuuralumiiniumoksiidvaakumpadrunid on suhteliselt lihtsad, tootmis- ja hoolduskulud on madalad ning adsorptsioonijõudu on ka suhteliselt lihtne reguleerida, vahvel võib olla töötlemise ajal täiesti stabiilne ja fikseeritud, reguleerides vaakumpumba tööolekut või padrunite vahekaugust. Kui aga vahvlit töödeldakse vaakumis või madalrõhu keskkonnas, näiteks keemiline aur-sadestamine, ei saa vaakumpadrun tugineda rõhuerinevusele, mis piirab selle rakendusi. Lisaks, kui vahvel imendub mikropoorse keraamilise padruni pinnale, deformeerub see õhurõhu tõttu, seejärel võib vahvel pärast töötlemist tagasi põrgata, mille tulemuseks on lõikepinna laineline pind, pinna tasasuse vähenemine ja mõju töötlemise täpsusele. Seega kasutatakse mikropoorset keraamilist padrunit tavaliselt mõne lamedate ja hästi suletud komponentide, näiteks metallplaadi, kinnitamiseks või kandmiseks. Ja pooljuhtide töötlemisel kasutati seda tavaliselt madala kvaliteediga protsessides.

Semicorexi mikropoorsed keraamilised padrunid on ülitäpsed vaakumkinnituskomponendid, mis on loodud rakenduste jaoks, mis nõuavad ühtlast kinnitusjõudu, suurepärast tasasust ja saastevaba töötamist. OEM-seadmete tootjatele ja arenenud tootmiskeskkondadele välja töötatud Semicorexi keraamilised padrunid tagavad tooriku stabiilse ja korratava fikseerimise seal, kus mehaaniline kinnitus või tavapärane vaakumpadruni konstruktsioon ei ole piisav.

Peamised jõudlusfunktsioonid

Vaakumi ühtlane jaotus kogu pinnal

Erinevalt tavalistest vaakumpadrunitest, mis põhinevad diskreetsetel vaakumavadel, kasutavad Semicorexi mikropoorsed keraamilised padrunid täielikult omavahel ühendatud mikropoorset struktuuri, et jaotada vaakum ühtlaselt üle padruni pinna.

See disain pakub:

Ühtlane hoidmisjõud kogu kontaktpinnal

Vähendatud lokaalne pinge ja tooriku deformatsioon

Parem stabiilsus õhukeste, rabedate või painduvate aluspindade puhul

Seetõttu sobivad need padrunid eriti hästi räniplaatide, klaaspaneelide, safiirsubstraatide, keraamika ja komposiitmaterjalide jaoks.

Suur tasapinnalisus ja mõõtmete stabiilsus

Semicorexi mikropoorsed keraamilised padrunid valmistatakse täppispaagutamise ja pinnaviimistluse protsesside abil, et saavutada kõrge tasasus ja pikaajaline mõõtmete stabiilsus.

Tüüpilist tasasust saab reguleerida mikronitaseme tolerantside piires, olenevalt suurusest ja rakendusest

Madal soojuspaisumine minimeerib deformatsiooni temperatuurikõikumiste korral

See tagab ühtlase positsioneerimise täpsuse lihvimis-, poleerimis-, kontrolli- ja litograafiaga seotud protsessides.

Puhas, osakestevaba töö

Täiustatud keraamilised materjalid on oma olemuselt mittemetallilised, mittemagnetilised ja korrosioonikindlad, mistõttu Semicorexi mikropoorsed keraamilised padrunid sobivad puhastesse ja tundlikesse tootmiskeskkondadesse.

Peamised eelised hõlmavad järgmist:

Metalli saastumine puudub

Madal osakeste teke

Ühilduvus puhaste ruumide rakendustega

Need omadused muudavad need ideaalseks pooljuhtide tootmiseks, optiliste komponentide tootmiseks ja täppiselektroonika töötlemiseks.

Materjali ja konstruktsiooni eelised

Kontrollitud mikropoorne keraamiline struktuur

Semicorexi mikropoorsete keraamiliste padrunite pooride suurus ja poorsus on hoolikalt kavandatud, et tasakaalustada vaakumi voolukiirust, hoidejõudu ja mehaanilist tugevust.

Pooride ühtlane jaotus toetab stabiilset vaakumi jõudlust

Mikropoorne struktuur vähendab äkilist rõhukadu töö ajal

Parem hoidmise usaldusväärsus võrreldes puuritud avaga vaakumpadrunitega

See struktuur tagab pideva töötamise ajal ühtlase padruni jõudluse.

Tüüpilised rakendused

Semicorexi mikropoorseid keraamilisi padruneid kasutatakse laialdaselt:

Pooljuhtvahvlite lihvimine ja poleerimine

Klaasi, safiiri ja keraamilise substraadi töötlemine

Optiliste komponentide tootmine

Täppistöötlus- ja metroloogiasüsteemid

Nende stabiilne ja korratav jõudlus muudab need hästi sobivaks automatiseeritud ja ülitäpsetele tootmisliinidele.

KKK – Semicorexi mikropoorne keraamiline padrun

Mis on mikropoorse keraamilise padruni peamine eelis?

See tagab ühtlase vaakumi hoidejõu kogu pinnal, minimeerides deformatsiooni ja parandades protsessi stabiilsust.

Kas Semicorexi keraamilised padrunid sobivad õhukeste vahvlite jaoks?

Jah. Need on eriti tõhusad õhukeste, rabedate või painduvate toorikute puhul, mis nõuavad ühtlast rõhujaotust.

Kas Semicorexi mikropoorseid keraamilisi padruneid saab kohandada OEM-seadmete jaoks?

Jah. Mõõtmeid, poorsust ja pinna spetsifikatsioone saab kohandada OEM-spetsiifiliste rakenduste jaoks.

Kuidas hooldatakse mikropoorseid keraamilisi padruneid?

Tavaliselt piisab rutiinsest puhastamisest. Keraamiline struktuur on vastupidav kulumisele, korrosioonile ja keemilisele lagunemisele.