Horisontaalsed kvartsvahvelpaadid

Horisontaalsed kvartsvahvlipaadidTavaliselt hoiavad pooljuhtplaadid horisontaalselt kuumtöötlusseadmete ahjutorudes, mida soojendavad välised kütteseadmed. Neid kasutatakse laialdaselt nõudlikes kõrgtemperatuurilistes söövitavates pooljuhtide kuumtöötlusprotsessides, nagu termiline oksüdatsioon, kõrgtemperatuurne difusioon, lõõmutamine ja keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessid.

Semicorexi horisontaalsete kvartsvahvlipaatide funktsioonid

1. Stabiilne hoidmine ja kinnitamine

Semicorexi horisontaalsetel kvartsvahvlitel on suurepärane kandevõime ja need suudavad pidevalt pakkuda stabiilset tuge mitmele pooljuhtplaadile. Ja nende optimeeritud väline disain ja täpne pilustruktuur tagavad kõikvahvelon ideaalselt paigaldatud ja kindlalt kinnitatud horisontaalsetele kvartsvahvlipaatidele, mis vähendab oluliselt loksutamise, nihkumise ja kallutamise ajal transpordi- ja tootmisprotsesside ajal tekkivaid vahvlite kriimustusi ja kokkupõrkeid.

2.Protsessi ühtsuse abi

Horisontaalsete kvartsvahvlipaatide võrdsete vahedega pilustruktuur võimaldab pooljuhtplaate korrapäraselt paigutada, luues nii stabiilse ja sujuva gaasivooluvälja kõrge temperatuuriga ahjudes. Konstruktsioonikonstruktsioon tagab ühtlase gaasikontakti ja reaktsioonikiiruse igal vahvlipinnal, vähendades seeläbi tõhusalt mitmesuguseid ebaühtlasest kuumenemisest ja diferentsiaalsest gaasikontaktist põhjustatud defekte, nagu vahvli mittetäielik oksüdatsioon, ebaühtlane õhukese kile sadestumine ja dopingu kontsentratsiooni hälve.

3. Pikaajaline kasutusiga

Tänu kvartsmaterjali suurepärasele kõrge temperatuurikindlusele taluvad Semicorexi horisontaalsed kvartsplaadid pikka aega kõrgeid temperatuure 1100-1200 ℃ ilma deformatsiooni või sulamiseta.Kvartson keemiliselt inertne pooljuhtprotsessides tavaliselt kasutatavate gaaside, nagu hapnik, lämmastik ja vesinikkloriid, suhtes. See erakordne keemiline inertsus võib minimeerida protsessigaaside korrosiooniohtu, pikendades oluliselt kasutusiga ning vähendades seadmete asendamise aega ja kulusid.