ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck kasutab elektrostaatilisi jõude, et säilitada täpne kontroll vahvli asukoha üle, tagades suure täpsuse ja korratavuse pooljuhtide tootmiskeskkondades. ESC padruni disain koos selle tugeva materjalivaliku ja kohandatavate mõõtmetega muudab selle mitmekülgseks ja oluliseks tööriistaks sellistes protsessides nagu söövitamine, sadestamine ja ioonide implanteerimine.

ESC padrun töötab kõrgepinge elektrostaatilise välja rakendamisel padruni elektroodide ja vahvli vahel, luues külgetõmbejõu, mis hoiab vahvlit paigal. Tavaliselt ränist või ränikarbiidist valmistatud vahvel on selle jõuga kinnitatud, võimaldades täpseid toiminguid kõrgvaakumiga keskkondades. See süsteem välistab vajaduse mehaanilise klambri või vaakumkinnituse järele, mis võib lisada saasteaineid või moonutada vahvlit. ESC-padrunit kasutades saavad tootjad saavutada õrnemate tootmisprotsesside jaoks puhtama ja stabiilsema keskkonna, mis toob kaasa suurema saagise ja ühtlasemad tulemused.

ESC-tehnoloogia üks peamisi eeliseid on selle võime säilitada vahvliga kindlalt haaret, jaotades samal ajal jõudu ühtlaselt üle selle pinna. See tagab, et vahvel jääb tasaseks ja stabiilseks, mis on ülioluline ühtlase söövitamise või sadestamise saavutamiseks, eriti protsessides, kus on vaja submikronilist täpsust. ESC padruni kohandatavad mõõtmed võimaldavad sellesse mahutada erineva suurusega vahvleid, alates standardsetest 200 mm ja 300 mm vahvlitest kuni spetsiaalsete, mittestandardsete suurusteni, mida kasutatakse uurimis- ja arendustegevuses või nišipooljuhtseadmete tootmises.

ESC-padruni konstruktsioonis kasutatavad materjalid on hoolikalt valitud, et tagada ühilduvus karmides keskkondades, mida pooljuhtide töötlemisel tavaliselt esineb. Kõrge puhtusastmega keraamikat alumiiniumoksiidi kasutatakse nende suurepäraste elektriisolatsiooniomaduste, termilise stabiilsuse ja plasmakorrosioonikindluse tõttu. Need omadused võimaldavad padrunil tõhusalt töötada nii kõrge temperatuuri kui ka kõrgvaakumi tingimustes, tagades vastupidavuse ja töökindluse, mis on vajalik pikaajaliseks kasutamiseks puhtas ruumis.

Kohandamine on ESC padrunite teine ​​oluline eelis. Sõltuvalt pooljuhtide valmistamise protsessi erinõuetest saab padruni mõõtmeid, elektroodide konfiguratsioone ja materjali koostist kohandada vastavalt töödeldavate seadmete ja vahvlite ainulaadsetele vajadustele. Olenemata sellest, kas rakendus hõlmab plasmasöövitamist, keemilist aurustamise-sadestamise (CVD) või füüsilist aurustamise-sadestamise (PVD), ESC padrunit saab konstrueerida nii, et see optimeerib jõudlust ja säilitab vahvli terviklikkuse töötlemise ajal.