Elektrostaatiline padrun

Kasutades kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamikat, pakub Semicorexi elektrostaatiline padrun tipptasemel jõudlust seadetes, mis seavad esikohale täpsuse, stabiilsuse ja puhtuse. Alumiiniumoksiid, tuntud ka kui alumiiniumoksiid (Al2O3), on keraamiline materjal, mis on tuntud oma erakordsete elektriisolatsiooniomaduste, kõrge soojusjuhtivuse ja silmapaistva mehaanilise tugevuse poolest. Need omadused muudavad selle ideaalseks materjaliks elektrostaatilise padruni ehitamiseks, mis on loodud taluma pooljuhtide töötlemise nõudlikke tingimusi. Alumiiniumoksiidi keraamiline ESC on konstrueeritud taluma kõrgeid temperatuure, söövitavat keskkonda ja mehaanilist pinget vahvlite käsitsemise ja töötlemise ajal, mängides olulist rolli pooljuhtseadmete saagise ja kvaliteedi tagamisel.

Elektrostaatilise padruni põhiprintsiip on elektrostaatiline jõud, mida kasutatakse vahvli kindlalt paigal hoidmiseks. See jõud genereeritakse pinge rakendamisel keraamilisse materjali sisseehitatud elektroodidele. Elektrostaatilise välja ja vahvli pinnal indutseeritud laengute vaheline koostoime loob tugeva kinnitusjõu, mis hoiab vahvlit vastu padruni pinda. Alumiiniumoksiidi keraamilise ESC disain tagab selle kinnitusjõu ühtlase jaotumise üle vahvli, minimeerides libisemise või kahjustuste riski töötlemise ajal.

Alumiiniumoksiidi keraamika kasutamise üks peamisi eeliseid elektrostaatilise padruni konstruktsioonis on selle erakordsed elektriisolatsiooniomadused. Alumiiniumoksiidi kõrge dielektriline tugevus võimaldab rakendada kõrgeid pingeid ilma elektrikatkestuse riskita, mis on elektrostaatilise välja terviklikkuse säilitamiseks ülioluline. See on eriti oluline selliste protsesside puhul nagu plasmasöövitus või keemiline aurustamine-sadestamine, kus vahvel puutub kokku väga reaktiivse keskkonnaga ja mis tahes kinnitusjõu kõikumine võib põhjustada vahvli defekte või kahjustusi.

Lisaks elektrilistele omadustele on alumiiniumoksiidi keraamika suurepärane soojusjuhtivus, mis on oluline pooljuhtide töötlemisel tekkiva soojuse juhtimiseks. Elektrostaatilise padruni võime soojust tõhusalt hajutada aitab säilitada kogu vahvlil stabiilset temperatuuri, vähendades termilisi gradiente, mis võivad põhjustada deformeerumist või muid termilise stressi vorme. See termiline stabiilsus on kriitiline selliste protsesside, nagu fotolitograafia, täpsuse ja korratavuse tagamisel, kus isegi väikesed temperatuurihälbed võivad tulemust mõjutada.