Alumiiniumoksiidi robotik

Semicorexi alumiiniumoksiidi robot Arm on suure jõudlusega keraamiline osa, mis on mõeldud vahvli käitlemiseks ja ülekandeülesanneteks pooljuhtide tootmisel. See robotkäe, mis on valmistatud kõrge puhtusega alumiiniumoksiidi keraamikast (al₂o₃), pakub paindlikkust, täpsust, töökindlust ja vastupidavust puhtates ruumides.

See, mis paistab silma alumiiniumoksiidi roboti käe kasuks, on omadusedalumiiniumoksiid keraamikaMehaaniline tugevus ja kõvadus. Kuialumiiniumoksiidtehakse puhtaks, alumiiniumoksiid säilitab parema konstruktsiooni terviklikkuse ja muudab selle mehaanilise kulumise ja deformatsiooni suhtes vastupidavamaks. Materjalina on alumiiniumoksiid suurepärane valik robotite jaoks, mida kasutatakse õrnades ja korduvates vahvlite käitlemise ülesannetes, st kui robot-käsi peab täitma sama funktsiooni ja võtma vahvlitega kontakti, et robotikarvaga vahvlile rakendatavad väikesed moonutused võivad rajatise saagikuse kaotuse maksta. Kõrge kõvadus, s.o jäigad pinnad, võib aidata abrasiivse vastupidavuse ja funktsionaalse elueaga, st laiendada teenuse elu ja kestuse laiendamist/ asendamise kestust robotikomponendil.

Lisaks mehaanilisele vastupidavusele on alumiiniumoksiidi robot -käsi ka suurepärane elektriisolaator. Vastupidavus on kuni 10⁵ Ω · cm ja isolatsioonitugevus on toatemperatuuril kuni 15 kV/mm, pakkudes tööks palju turvalisemat keskkonda, eriti kui töötlemisseadmetes tuleb vähendada elektrilisi signaale. See muutub oluliseks tundlike pooljuhtide komponentide kaitsmisel minimaalse elektrostaatilise tühjenemise kahjustusega protsesside vahel.

Alumiiniumoksiidi keraamika on suurepäraselt säilitades stabiilsuse väga kõrgetel temperatuuridel. Sulamispunkt on umbes 2050 ° C ja see talub pooljuhtide termilise töötlemise kõrgeid temperatuure ilma väändumise või mõõtmete täpsuseta. Kõrge soojustakistus võimaldab kätt kasutada sellistes protsessides nagu kiire termiline lõõmutamine (RTA) või keemiline aurude ladestumine (CVD), kus täpsuse joondamine ja termiline stabiilsus on kriitilised.

Alumiiniumoksiidi robot -käe üks muudest olulistest eelistest on selle inerts. Selle pind on enamiku puhastusvahendite ja töötlemisgaaside suhtes inertne pooljuhtide tootmisel. Seetõttu jääb see saastumiseta ega aita kaasa vahvli pinna saastumisele. See keemiline inerdus on võtmeks ülitugevate tootmistingimuste saavutamiseks ja seadme järjepideva jõudluse tagamiseks.

Alumiiniumoksiid keraamikaon ka taskukohane võimalus pooljuhtide tööriistade jaoks. See on hõlpsasti saadaval toorainena ja alumiiniumoksiidi keraamika töötlemisprotsessid on hästi mõistetavad ja hõlpsasti skaleeritavad. See võimaldab reprodutseeritavat ja järjepidevat tolerantsi kvaliteetsete osade tootmiseks konkurentsivõimelise hinnaga. Jõudluse ja taskukohasuse segu muudab alumiiniumoksiidi robot -käe ideaalseks OEM -i ja pooljuhtide FAB -de jaoks, kus vajate usaldusväärseid automaatika komponente, mis ei riku panka.

Kokkuvõtlikult tagab alumiiniumoksiidi robot -haru kõrge mehaanilise jõudluse, kõrge dielektrilise jõudluse, kõrge soojusresistentsuse, kõrge keemilise jõudlusega, kõik koos tõestatud tootmisvõimega ökonoomse hinnaga. Need tulemuslikkuse omadused muudavad selle usaldusväärseks ja tõhusaks vahvli täpse käitlemise rakendamiseks pooljuhtide tootmisel, võimaldades paremat saaki, vähendades saastumisriski ja parandades seadmete üldist tõhusust.