Alumiiniumoksiidi paigaldamise alusplaadid

Semicorexi alumiiniumoksiidi paigaldamise alusplaadid on kõrge puhtusega keraamilised tooted, mis on konstrueeritud vastupidavate ja stabiilsete alustena pooljuhtide valmistamisseadmetes paigaldamiseks. Need taldrikud pakuvad kriitilist mehaanilist tuge ja vahvlite töötlemise toimingute, näiteks litograafia, söövitamise, ladestumise ja kontrollimise joondamise. Oluline on täpne joondada töö CHUCK muude süsteemikomponentidega, et tagada vahvli töötlemine vajaliku truudusega. Plaate toodetakse keraamikale spetsiifiliste töötlemismeetodite abil, et saavutada vajalik tasasus, kõrge temperatuuriga vastupidavus ja pikaajaline töökindlus, et täita tänapäevase pooljuhtide valmistamise karmid nõuded nii protsessi- kui ka puhast keskkonnas.

Semicorexi alumiiniumoksiidi kinnitusplaadid on valmistatud suure puhkeolekustalumiiniumoksiidPuhtuse tase ≧ 99,5% (tüüpiline). Kõrgpuhustusega alumiiniumoksiidil on head mehaanilised ja termilised omadused, aga ka kõvadus. Kõrgpuhustusega alumiiniumoksiidil on suurepärased elektrilised isoleerivad omadused, mis võimaldavad neid plaate kasutada ka vaakumis- ja kõrgepingerakendustes, kus probleemiks võib olla elektrihäired. Alumiiniumoksiid on vastupidav termilise tsükli suhtes, mis võimaldab plaatidel säilitada paremat mõõtmete täpsust kui enamik materjale ja on kasulik soojuspaisumise vähenemise tõttu joondamise või struktuurilise stabiilsuse säilitamiseks. See tegur on oluline Chucki korratavuse ja kaudsete protsesside tolerantside tagamisel, töötades samal ajal laiendatud tootmistsüklites.

Pooljuhtide töötlemissüsteemides ei ole kinnituspõhiplaat lihtsalt mehaanilise kinnituse seade. See on termilise kontakti keskkond padruni ja ülejäänud seadmete vahel ning see on kriitiline termilise hajumise, konstruktsiooni terviklikkuse ja vibratsiooni isoleerimise jaoks. Töötlemistoimingud nagu (kuid mitte ainult) CVD, PVD või ioonide implanteerimine, kus kõrged temperatuurid ja vaakumirõhk on tavalised, nõuavad paigaldusbaasi termiliselt vastupidavaks, keemiliselt inertseks ja vastupidavaks, mehaaniliselt ja vastupidavaks termilisele šokile. Keemiline inersus on ülioluline, kuna kinnitus peab olema ühilduv reageerivate gaaside, samuti keemiliste puhastamisega, laiendades kinnituse kasulikku eluiga ja takistades saastumist.

Iga Semicorexi valmistatud alumiiniumoksiidi paigaldamise alusplaati on töödeldanud pooljuhtide originaalseadmete tootjate ja seadmete integraatorid nõutavad tolerantsid. Plaadid on maksimaalse stabiilsuse ja korratavuse tagamiseks töödeldud tihedate paksuse, kõrguse variatsiooni ja tasase tolerantsi järgi. Neid kinnitusplaate saab valmistada kinnitusaukude, pesade või kliendi spetsifikatsioonide loenduritega, et paremini kohandada tööpotsid, mehaanilised etapid või muud seadmed. Alumiiniumoksiidi keraamikat töödeldakse kaasaegsete paagutamise ja täpsuse lihvimistehnikate abil, et optimeerida ühtlast mikrostruktuuri ja pinna kvaliteeti, et tagada aja jooksul kasutamiseks järjepidev soojuslik kontakt ja joondamine.

Semicorexi alumiiniumoksiidi kinnitusplaate kasutatakse erinevates rakendustes, sealhulgas vahvlite käitlejad, robotiülekandesüsteemid, vaakumkattega koosseisud ja metroloogia etapid. See usaldusväärsus ja vastupidavus mitmesugustes nõudlikes protsessisituatsioonides muudavad need valitud tooteks tööriistatootjatega, kes otsivad kindlaid, pikaajalisi ja madala hooldusega keraamilisi komponente. Meie insenerigrupp teeb koostööd klientidega, et pakkuda ainulaadseid lahendusi, mis on määratud iga plaadi jaoks, et maksimeerida pooljuhtide tootmise tõhusust.

Alumiiniumoksiidi kinnitusplaadid on midagi enamat kui lihtsalt mehaaniline tugi; See on pooljuhtide tööstuse täppisseadmete põhikomponent. Suurepärase mehaanilise stabiilsuse, puhtuse ja konfigureeritavuse abil tagavad need täpse joondamise, pika eluea ja usaldusväärse toimimise ulatuslikes protsessiriistades. Suure jõudlusega paigaldatava baasplaatide jaoks, mis vastab tänapäeva pooljuhtide tootjate kõrgetele ootustele, Trust Semicorex.