Alumiiniumoksiidi keraamiline lõpp -efektor

Semicorexi alumiiniumoksiidi keraamiline lõpp -efektor on oluline tööriist automatiseeritud vahvliülekandesüsteemides, pakkudes tasakaalustamata mehaanilist tugevust, termilist stabiilsust ja keemilist vastupidavust. Toodetud suure puhkeoleku abilalumiiniumoksiid (al₂o₃) keraamika, on see lõpp -efektor kavandatud vahvli töötlemise keskkondade rangetele nõudmistele, kus täpsus, puhtus ja vastupidavus on esmatähtis.

Pooljuhtide robotrelvad on pooljuhtide seadmete üks olulisi osi. Tavaliselt koosnevad need kontrolleritest, autojuhtidest, relvadest ja lõpp -efektoritest. Neid iseloomustab kõrge puhtus, kõrge stabiilsus, kõrge täpsus, kõrge efektiivsus ja kõrge töökindlus. Pooljuhtide roboteid kasutatakse peamiselt pooljuhtide tootmise esiosa protsessis, et vedada ja positsioneerida pooljuhtide vahvleid.

Alumiiniumoksiidi sisaldusega keraamiline struktuur, mis on tavaliselt suurem kui 99,5%, tagab suurepärase kõvaduse ja kulumiskindluse korduvate liikumiste korral ülitäpses keskkonnas ilma aja jooksul lagunemata. Kõrgenenud temperatuuriga keskkondades võimaldavad alumiiniumoksiidi kõrge soojusjuhtivust ja madal soojusjuhtivust, mis on vajadus enamikul puhastusruumi toimingutel pooljuhtides, näiteks söövitus-, deponeerija, kontrolli või puhastusvahendi korral.

Sellealumiiniumoksiid keraamikaEndiefektoril on märkimisväärne iseloomulik pinnaviimistlus, mis on sile ja vähese poorsusega, muutes selle genereeritud nullosakeste lähedale ja minimeerimise või null mõju saasteainetele vahvli käitlemise ajal. Lisaks on alumiiniumoksiid keemiliselt inertne. See tähendab, et see ei reageeri ühegi protsessigaaside ja protsessi vedelikega, kellega vahvel kokku puutub. See kaitseb vahvli ja saastumist enda ja seadmete suhtes kõige eest, mis võib põhjustada korrosiooni.

Neid kasutatakse üldiselt lõpp -efektorina või klambrite mehhanismina robotrelvade või ülekandemoodulite jaoks vahvli valmistamisseadmetes ja seadmetes, näiteks söövitus- või ladestusvahend, kontrolli- või puhastusvahend koos täpsete pesade, soonte või vaakumkanalitega, mis jäädvustavad tegeliku vahvli suuruse, olenemata sellest, kas see on 100 mm, 200 mm, või 300 mm ja ülekandes. Lõpptöötajad käitlevad tavaliselt vahvliülekande kiirust kiirusel 25 cm/sekundis.

Kohandamisvõimalused on olemas konkreetsete seadmete liideste või vahvli suuruste jaoks. Alumiiniumoksiidi struktuurne jäikus võimaldab õhukeseid ja kergeid profiile, mis minimeerivad käitlemissüsteemi üldist massi ja viivad kiirema reageerimise ajani. Mõned konfiguratsioonid võivad lisada ka antistaatilisi või isoleerivaid komponente, et pakkuda tundlikele elektroonilistele substraatidele täiendavat kaitset.

Üldiselt pakub alumiiniumoksiidi keraamiline lõpp -efektor tõhusat lahendust, mis soodustab paremat saagist ja vähenenud saastumist, kus töökindlus on vahvli töötlemisliini põhielemendid. Oma vastupidavuse ja füüsilise jõudluse omadustega eristab tõhus ja kulutõhus alumiiniumoksiidi keraamiline lõpp-efektor populaarseks valikuks pooljuhtide seadmete tootjate ja FAB-de seas, mis vajavad rangeid tootmisstandardeid ülikerge keskkonnas.