Al2O3 vaakumpadrun

Rakendused pooljuhtide tootmises

Semicorex Al2O3 vaakumpadrun on mitmekülgne tööriist, mida kasutatakse pooljuhtide tootmise mitmes etapis:

Lahjendamine: Vahvli vedeldamise ajal pakub Al2O3 vaakumpadrun stabiilset ja ühtlast tuge, tagades substraadi ülitäpse vähendamise. See on ülioluline kiibi soojuse hajumise ja seadme jõudluse parandamiseks.

Kuubikuteks lõikamine: Kuubikuteks lõikamise etapis, kus vahvlid lõigatakse üksikuteks laastudeks, pakub Al2O3 vaakumpadrun turvalist ja stabiilset adsorptsiooni, minimeerides kahjustuste riski ja tagades puhtad lõiked.

Puhastamine: Al2O3 vaakumpadruni sile ja ühtlane adsorptsiooniga pind muudab selle vahvlipuhastusprotsessideks sobivaks, tagades saasteainete tõhusa eemaldamise ilma vahvleid kahjustamata.

Transportimine: Al2O3 vaakumpadrun pakub vahvlite käsitsemisel ja transportimisel usaldusväärset ja kindlat tuge, vähendades kahjustuste ja saastumise ohtu.

Semicorex VaakumChuck Flow

Semicorex Al2O3 vaakumpadruni eelised

1. Ühtlane mikropoorse keraamika tehnoloogia

Al2O3 vaakumpadrun on konstrueeritud kasutades mikropoorset keraamilist tehnoloogiat, mis hõlmab ühtlase suurusega nanopulbrite kasutamist. See tehnoloogia tagab, et poorid on ühtlaselt jaotunud ja omavahel ühendatud, mille tulemuseks on kõrge poorsus ja ühtlaselt tihe struktuur. See ühtlus suurendab vaakumpadruni jõudlust, pakkudes ühtlast ja usaldusväärset vahvlituge.

2. Erakordsed materjaliomadused

Al2O3 vaakumpadrunis kasutatav ülipuhas 99,99% alumiiniumoksiid (Al2O3) pakub mitmeid erakordseid omadusi:

Soojusomadused: Kõrge kuumakindluse ja suurepärase soojusjuhtivusega Al2O3 vaakumpadrun talub pooljuhtide valmistamisel tavaliselt esinevaid kõrgeid temperatuure.

Mehaanilised omadused: Alumiiniumoksiidi kõrge tugevus ja kõvadus tagavad, et Al2O3 vaakumpadrun on vastupidav ja kulumiskindel, tagades pikaajalise töö.

Muud omadused: Alumiiniumoksiidil on ka kõrge elektriisolatsioon ja korrosioonikindlus, mis muudab Al2O3 vaakumpadruni sobivaks paljudes tootmiskeskkondades.

3. Suurepärane lamedus ja paralleelsus

Al2O3 vaakumpadruni üks peamisi eeliseid on selle suur tasapinnalisus ja paralleelsus. Need omadused on otsustava tähtsusega vahvlite täpse ja stabiilse käitlemise tagamiseks, kahjustuste ohu minimeerimiseks ja järjepidevate töötlemistulemuste tagamiseks. Lisaks tagavad Al2O3 vaakumpadruni hea õhu läbilaskvus ja ühtlane adsorptsioonijõud sujuva ja usaldusväärse töö.

4. Kohandamise valikud

Semicorexis mõistame, et igal pooljuhtide tootmisprotsessil on ainulaadsed nõuded. Seetõttu pakume kohandatud vaakumpadruneid, mis on kohandatud teie konkreetsetele vajadustele. Olenevalt nõutavast tasapinnast ja tootmiskuludest soovitame erinevaid alusmaterjale, tagades, et vaakumpadruni kaal ja jõudlus on teie rakenduse jaoks optimeeritud. Nende materjalide hulka kuuluvad roostevaba teras SUS430, alumiiniumsulam 6061, tihe alumiiniumoksiidi keraamika (elevandiluuvärvi), graniit ja tihe ränikarbiidkeraamika.

Al2O3 Vacuum Chuck CMM Measurement