Vahvli serva lihvimine Chuck

Semicorexi vahvli serva lihvimine on spetsiaalne keraamiline osa, mis on valmistatud vahvli serva lihvimisprotsessis pooljuhtide tootmise ajal. Keraamika on valmistatud kõrgest puhtusest, valgest alumiiniumoksiidist (al₂o₃), millel on mehaaniline tugevus, keemiline vastupidavus ja mõõtmete stabiilsus, et toetada vahvli lihvimisprotsessi. Kuna uued tehnoloogiad vajavad seadmetes suuremat vahvli läbimõõtu ja õrnemaid struktuure, mängib vahvli serva lihvimine olulist rolli servade hakkimise, mikrokraadimise ja saagise ennetamisel. Alumiiniumoksiidi keraamiline lihvimine pakub ühtlast lähtejoont, mille kohaselt nende rangete tootmisnõuete täitmiseks.

Alumiiniumoksiidi keraamikakasutatakse ehitusmaterjalina selle uskumatute füüsikaliste, keemiliste ja termiliste omaduste tõttu. Valgel alumiiniumoksiidil on silmapaistev kõvadus ainult teemandiga, mis on MoHSi kõvadusskaalal kõrgem, mis võimaldab lihvimispartkal taluda korduva kasutamisega lähitulevikus kulumist ja hõõrdumist lähitulevikus. Arvestades alumiiniumoksiidi märkimisväärset mehaanilist tugevust, saab vahvlit kindlalt haarata ja hoida, samas kui alumiiniumoksiidi jäikus ei võimalda moonutusi ega deformatsiooni, kui osale on koormus rakendatud. Arvestades seda, on alumiiniumoksiid suurepärane valik, et toota inventari ja toetab seda, kus on vaja täpsust ja vastupidavust.

Termiline stabiilsus on ka alumiiniumoksiidi keraamilise tunnusjoon. Kuna sulamistemperatuur on suurem kui 2000 ° C ja termiline šokk stabiilsus, võib padrun töötada tingimustes, kus hõõrdeküetus või temperatuurimuutus võib toimuda, see on järjekindel W.R.T, kus mõõtmete stabiilsus on kriitiline, ehkki servade jahvatus kuju võib mõõdeda mõõdet pisut. Kinnitusjõud on serva lihvimisel järjepideva joondamise järjepideva järjepidevuse säilitamiseks tugev. Alumiiniumoksiidi madal soojusjuhtivus ei tohiks lubada lokaliseeritud kuumutamisel vahvli soojendada piisavalt, et vahvli terviklikkuse kompromiss õrnade substraatide pooljuhtide töötlemisel.

Keemilisest vaatenurgast on alumiiniumoksiidi keraamikas vähe reageerimist hapetele, leelisele ja pooljuhtide töötlemise plasmakeskkondadele. Erinevalt metallilistest pakkidest, mis võivad korrodeerida või polümeersed inventarid, mis võivad jätkuvalt laguneda ilma selgesõnalise jälgimiseta, on alumiiniumoksiidi keraamika nende iga päev teenindustsüklite suhtes pooljuhtide töötlemisel immuunne. See inensus tagab vahvli pinna null saastumise ja säilitab protsessi puhtuse, piirates samal ajal saagikust.

Tänapäeva pooljuhtide tootmismaastikul on servade lihvimise protsess mitmetahuline: see valmistab vahvli ette järgnevaks töötlemiseks ning tagab ka ohutu transpordi, käitlemise ja integreerimise kõige arenenumate litograafia- ja söövitusriistadesse. Selles on vahvli serva jahvatamine Chuck oluline osa vahvli ohutult kinnitamiseks, täpselt hoides, ja see aitab otseselt kaasa vahvli töökindlusele ja toote jõudlusele. Investeeringuga alumiiniumoksiidi keraamikasse säästetakse aega, kui sellise vara pikaealisus seisakuid piiraks, osade kulusid vähendamiseks ja seadme tõhususe maksimeerimiseks (OEE).

Vahvli serva jahvatav padrun, mis on valmistatudalumiiniumoksiid keraamikaesindab kõiki keeruka materjaliteaduse ja täpsustehnika eeliseid. See näitab pooljuhtide vahvli valmistamisprotsessi jaoks vajalikke kõvaduse, kulumiskindluse, termilise stabiilsuse ja keemilise inertsuse omadusi. Tugev jõudlus võib põhjustada usaldusväärset vahvli serva kvaliteeti, head saaki ja laiendatud seadmete eluiga. Pooljuhtide tootjate jaoks, kes on pühendunud laitmatule täpsusele ja tõhususele, on lahendus alumiiniumoksiidi vahvli serva lihvimine.