TaC pinnakatte juhtrõngas

FunktsioonTaC pinnakatte juhtrõngas:

Täpne gaasivoolu juhtimine:TaC katte juhtrõngas on strateegiliselt paigutatud MOCVD reaktori gaasi sissepritsesüsteemi. selle esmane ülesanne on suunata lähtegaaside voogu ja tagada nende ühtlane jaotumine substraadi vahvli pinnal. See gaasivoolu dünaamika täpne juhtimine on oluline ühtlase epitaksiaalse kihi kasvu ja soovitud materjali omaduste saavutamiseks.

Soojusjuhtimine:TaC katte juhtrõngas töötab sageli kõrgendatud temperatuuridel, kuna need on kuumutatud sustseptori ja substraadi läheduses. TaC suurepärane soojusjuhtivus aitab soojust tõhusalt hajutada, hoides ära lokaalse ülekuumenemise ja säilitades reaktsioonitsoonis stabiilse temperatuuriprofiili.

TaC eelised MOCVD-s:

Äärmuslik temperatuuritaluvus:TaC on kõigi materjalide seas üks kõrgemaid sulamistemperatuure, ületades 3800 °C. 

Silmapaistev keemiline inertsus:TaC-l on erakordne vastupidavus korrosioonile ja keemilisele rünnakule, mida põhjustavad MOCVD-s kasutatavad reaktiivsed lähtegaasid, nagu ammoniaak, silaan ja mitmesugused metalli-orgaanilised ühendid.

TaC ja SiC korrosioonikindluse võrdlus

Madal soojuspaisumine:TaC madal soojuspaisumistegur minimeerib mõõtmete muutusi, mis on tingitud temperatuuri kõikumisest MOCVD protsessi ajal. 

Kõrge kulumiskindlus:TaC kõvadus ja vastupidavus tagavad suurepärase kulumiskindluse pidevast gaasivoolust ja võimalikest tahketest osakestest MOCVD süsteemis. 

MOCVD jõudluse eelised:

Semicorex TaC pinnakatte juhtrõnga kasutamine MOCVD seadmetes aitab oluliselt kaasa:

Täiustatud epitaksiaalse kihi ühtsus:Täpne gaasivoolu juhtimine, mida hõlbustab TaC pinnakatte juhtrõngas, tagab ühtlase prekursori jaotumise, mille tulemuseks on ühtlase paksuse ja koostisega epitaksiaalse kihi väga ühtlane kasv.

Täiustatud protsessi stabiilsus:TaC termiline stabiilsus ja keemiline inertsus aitavad kaasa stabiilsema ja kontrollitavama reaktsioonikeskkonna loomisele MOCVD kambris, minimeerides protsessi erinevusi ja parandades reprodutseeritavust.

Suurenenud seadmete tööaeg:TaC pinnakatte juhtrõngasi vastupidavus ja pikem eluiga vähendavad vajadust sagedaste vahetamiste järele, minimeerides hoolduse seisakuid ja maksimeerides MOCVD süsteemi töötõhusust.