TaC-kattega vahvli sustseptor

Semicorex TaC-ga kaetud vahvli sustseptor on oluline komponent, mida kasutatakse metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) ahjudes pooljuhtide epitaksiaalseks (epi) töötlemiseks. See spetsiaalne ümar sustseptor on valmistatud kvaliteetsest grafiitmaterjalist ja sellel on ainulaadne tantaalkarbiidi (TaC) kate.

TaC-katte esmane eesmärk on suurendada TaC-kattega Wafer Susceptori jõudlust ja vastupidavust pooljuhtide valmistamise protsesside nõudlikes tingimustes. Tantaalkarbiid on tuntud oma erakordse kõvaduse, kõrge sulamistemperatuuri ning kulumis- ja korrosioonikindluse poolest. Need omadused muudavad TaC Coated Wafer Susceptori ideaalseks valikuks, et kaitsta allolevat grafiidisusseptorit keemiliste reaktsioonide ja füüsikaliste pingete eest, mis tekivad MOCVD ahjus.

TaC-ga kaetud Wafer Susceptor mängib olulist rolli pooljuhtmaterjalide epitaksiaalses kasvus, hõlbustades õhukeste kilede sadestumist vahvlitele. Selle võime taluda kõrgeid temperatuure ja karmi keemilist keskkonda on ülioluline pooljuhtseadmete täpse ja usaldusväärse tootmise saavutamiseks.

TaC Coated Wafer Susceptor oma grafiidist südamiku ja tantaalkarbiidi kattega tagab ühtlase ja ühtlase soojusjaotuse, aidates kaasa MOCVD protsessi käigus kasvatatud pooljuhtkihtide reprodutseeritavusele ja kvaliteedile. See täiustatud materjalide kombinatsioon teeb sellest usaldusväärse ja vastupidava lahenduse pooljuhtide tootmiseks, mis vastab kaasaegse elektroonikaseadmete tootmise rangetele nõuetele.