TaC-kattega toru

Semicorex TaC Coated Tube võimsus seisneb alusmaterjali ja spetsiaalse katte sünergilises kombinatsioonis:

Kõrge puhtusastmega isotroopsest grafiidist vundament:TaC kaetud toru südamik on moodustatud ülikõrge puhtusastmega isotroopsest grafiidist, mis on tuntud oma suurepärase soojusjuhtivuse, madala soojuspaisumise ja loomuliku vastupidavuse poolest termilisele šokile. See vundament loob tugeva ja stabiilse platvormi, mis talub pooljuhtide töötlemisele iseloomulikke kiireid temperatuurikõikumisi ja suuri termilisi koormusi.

Tantaalkarbiid---Vastupidavuse ja inertsuse kilp:CVD-ga pealekantav TaC-kate muudab grafiidist substraadi, andes erakordse kõvaduse, kulumiskindluse ja keemilise inertsuse. See kaitsekiht toimib barjäärina pooljuhtide valmistamisel tekkivate agressiivsete gaaside, plasmade ja reaktiivsete osakeste vastu, tagades toru konstruktsiooni terviklikkuse ja pikaealisuse.

See ainulaadne materjalikombinatsioon toob kaasa hulga eeliseid, mis on täiustatud pooljuhtide tootmise jaoks kriitilised:

Võrratu temperatuuritaluvus:TaC on kõigi teadaolevate materjalide ühe kõrgeima sulamistemperatuuriga, ületades isegi ränikarbiidi (SiC). See äärmuslik temperatuuritaluvus võimaldab TaC kaetud torul töökindlalt töötada protsessides, mis nõuavad üle 2500 °C temperatuuri, võimaldades toota järgmise põlvkonna pooljuhtseadmeid, millel on nõudlik soojuslik eelarve.

Ülikõrge puhtusastmega kriitiliste protsesside juhtimiseks:Põliste protsessikeskkondade säilitamine on pooljuhtide valmistamisel ülimalt oluline. Kõrge puhtusastmega grafiidi kasutamine ja hoolikas CVD-katmisprotsess tagavad minimaalse väljavoolu või tahkete osakeste tekke TaC-kattega torust, vältides saastumist, mis võib ohustada tundlikke vahvlipindu ja seadme jõudlust.

Vankumatu keemiline vastupidavus:TaC-kattega toru keemiline inertsus tagab erakordse vastupidavuse paljudele söövitavatele gaasidele, reaktiivsetele ioonidele ja plasmakeskkondadele, mida tavaliselt kasutatakse pooljuhtprotsessides, nagu söövitamine, sadestamine ja lõõmutamine. See tugev keemiline stabiilsus tähendab torude pikendatud eluiga, väiksemaid hooldusvajadusi ja madalamaid üldkulusid.

Täiustatud mehaaniline vastupidavus pikendab kasutusiga:TaC-katte ja grafiidist aluspinna vaheline tugev ühendusjõud koos TaC-kattega torule omase kõvadusega tagab erakordse vastupidavuse kulumisele, erosioonile ja mehaanilisele pingele. See täiustatud vastupidavus tähendab pikemat kasutusiga ja lühendatud seisakuid asendamisel, parandades protsessi tõhusust ja läbilaskevõimet.