TaC-kattega sustseptor

Grafiidist alusmaterjalist valmistatud Semicorex TaC Coated Susceptor on selle jõudluse ja vastupidavuse suurendamiseks kaetud tantaalkarbiidiga (TaC).

Tantaalkarbiid pakub erakordset termilist stabiilsust, võimaldades TaC-kattega sustseptoril taluda äärmiselt kõrgeid temperatuure, mida sageli kohtab sellistes protsessides nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD) ja füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD). Ja TaC kate tagab suurepärase vastupidavuse keemilistele reaktsioonidele, oksüdatsioonile ja korrosioonile, mis on ülioluline terviklikkuse ja jõudluse säilitamiseks karmides keemilistes keskkondades.

TaC Coated Susceptori ühtsed ja stabiilsed termilised omadused parandavad nende kasutatavate protsesside järjepidevust ja kvaliteeti, mis toob kaasa parema saagise ja efektiivsuse pooljuhtide valmistamisel.

Samal ajal vähendab TaC Coated Susceptori TaC kasutamine pooljuhtprotsessides saastumise ohtu, mis on ülimalt puhtusega ja defektideta elektroonikakomponentide tootmiseks ülioluline.

TaC-kattega sustseptori rakendused:

Pooljuhtide tootmine: kasutatakse CVD ja PVD protsessides õhukeste kilede ja epitaksiaalsete kihtide ladestamiseks pooljuhtplaatidele.

LED-tootmine: kasutatakse valgusdioodide (LED) tootmisel, kus on vaja täpseid ja stabiilseid soojustingimusi.

Päikesepatareide valmistamine: kasutatakse fotogalvaaniliste elementide tootmisel tõhususe ja töökindluse suurendamiseks.

Semicorex TaC kaetud susceptor on kriitilise tähtsusega arenenud tootmisprotsessides, kus on vajalik kõrge termiline stabiilsus, keemiline vastupidavus ja vastupidavus. Nende kasutamine tagab kõrgtehnoloogilistes tööstusharudes parema jõudluse, pikaealisuse ja tootekvaliteedi.