TaC-ga kaetud grafiidiosad

Semicorex TaC kaetud grafiitdetailid on valmistatud kõrge puhtusastmega isostaatilisest grafiidist ja kaetud tantaalkarbiidiga (TaC), mis tagab võrratu vastupidavuse äärmuslikele temperatuuridele. TaC-kattega grafiidiosad on konstrueeritud nii, et need taluvad pooljuhtide valmistamisel esinevaid karme tingimusi ja on suurepärased erinevate protsesside täiustamisel, mis on kvaliteetsete pooljuhttoodete tootmiseks üliolulised. Nende erakordne kuumakindlus tagab töökindluse ja pikaealisuse isegi kõige keerulisemates termilistes keskkondades.

TaC-ga kaetud grafiitdetailidel on keskne roll peamiste pooljuhtide töötlemise tehnikate optimeerimisel, sealhulgas difusiooniprotsessid, oksüdatsioonilõõmutamine, LPCVD ja PECVD. Hõlbutades täpset temperatuuri reguleerimist ja tagades aluspindade ühtluse, aitavad TaC-ga kaetud grafiitdetailid oluliselt parandada toote kvaliteeti ja tootmistõhusust.

Semicorex TaC kaetud grafiitdetailid on loodud vastama pooljuhtide tootmise rangetele nõuetele. Alates difusiooniprotsesside tõhustamisest kuni erinevate sadestustehnikate kvaliteedi ja tõhususe parandamiseni on TaC-ga kaetud grafiidiosad asendamatud vahendid pooljuhtide valmistamise tipptaseme poole püüdlemisel.