Susceptor võrega

Semicorex Susceptor with Grid on spetsiaalne komponent, mida kasutatakse pooljuhtplaatide epitaksiaalses kasvuprotsessis. See kriitiline seade on mõeldud vahvlite kandmiseks ja toetamiseks materjalide sadestamisel metallorgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) süsteemis. Võrega susceptor mängib keskset rolli pooljuhtplaadi epitaksiaalsete kihtide ühtlase ja kontrollitud kasvu tagamisel.

Võrega Susceptor on valmistatud selle funktsiooni jaoks optimeeritud materjalidest. Sel juhul on see valmistatud MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) kaetud grafiidist. See materjalide valik pakub mitmeid eeliseid, sealhulgas vastupidavus kõrgele temperatuurile, keemiline stabiilsus ja suurepärane soojusjuhtivus. Grafiidil olev SiC-kate suurendab sustseptori vastupidavust ja vastupidavust epitaksiaalse kasvuprotsessi ajal esinevatele karmidele tingimustele.

Võrestruktuuriga Susceptor toimib pooljuhtplaatide tugimehhanismina. See on strateegiliselt kavandatud hoidma vahvleid kindlalt paigal, võimaldades samal ajal tõhusat gaasivoolu ja materjalide ühtlast sadestumist. Võre muster aitab jaotada soojust ja reagendid ühtlaselt üle vahvli pinna, aidates kaasa epitaksiaalse kihi paksuse ja koostise täpsele kontrollile.

Semicorex Susceptor with Grid on täiustatud pooljuhtseadmete tootmisprotsessi oluline komponent. Selle vastupidav konstruktsioon ja spetsiaalne disain muudavad selle oluliseks tööriistaks kvaliteetse epitaksiaalse kasvu saavutamiseks, tagades suurepärase jõudluse ja töökindlusega pooljuhtide tootmise.