SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjal pakub räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjali kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor tagab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC kaetud sustseptor on HEMT oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC-ga kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
SiC Epitaxy Susceptor on valmistatud täpselt ja töökindlalt ning sellel on kõrge korrosioonikindlus, kõrge soojusjuhtivus, vastupidavus termilisele šokile ja kõrge keemiline stabiilsus, mis võimaldab sellel tõhusalt toimida epitaksiaalses atmosfääris. Seetõttu peetakse SiC Epitaxy Susceptorit südamikuks ja MOCVD seadmete oluline komponent. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist paadihoidik on spetsiaalne ränikarbiidist valmistatud toode, mis on hoolikalt loodud kasutamiseks sellistes tööstusharudes nagu fotogalvaanika, elektroonika ja pooljuhid. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Solar Graphite Boat, täpselt konstrueeritud vahvlihoidja, mis on loodud vastama kõrge temperatuuriga pooljuhtide töötlemise nõudmistele. See esmaklassilisest grafiidist valmistatud uuenduslik paat pakub võrratut termilist stabiilsust ja vastupidavust, tagades optimaalse jõudluse ka kõige nõudlikumates ahjukeskkondades. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi tugitiigel on pöördelise komponendina räni päikesekristallide keerukas kasvuprotsessis, olles vankumatu alus toorainete muutmisel kvaliteetseteks räni valuplokkideks, mis on ette nähtud fotogalvaanilisteks rakendusteks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSiC kattega Semicorex Barrel Susceptor on tipptasemel lahendus, mis on loodud räni epitaksiaalsete protsesside tõhususe ja täpsuse tõstmiseks. See SiC-kattega tünn-suceptor, mis on valmistatud hoolikalt detailidele, on kohandatud vastama pooljuhtide tootmise nõudlikele nõuetele, toimides optimaalse vahvlihoidjana ja hõlbustades soojuse sujuvat ülekandmist vahvlitele. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy on konstrueeritud vastama rakenduslike materjalide ja LPE üksuste nõudlikele nõuetele. Täpselt ja uuenduslikult valmistatud tünnikujuline sustseptor on valmistatud kvaliteetsest SiC-ga kaetud grafiidist, mis tagab erakordse jõudluse ja vastupidavuse räni epitaksirakendustes. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päring