Sic kaas

Semicorex sic kaane on oluline osa, mis on loodud spetsiaalselt pooljuhtide töötlemiseks. See on mõeldud epitaxy, ioonide implanteerimise ja kõrgtemperatuuriliste rakenduste kõige raskemate keskkondade jaoks. See on toodetud ülikerge räni karbiidist, millel on äärmiselt stabiilsed materiaalsed omadused ja konstrueeritud täpsus. Pikaajaline järjepidevus, vastupidavus ja puhtus on peamised põhjused Semicorex SIC kaane valimiseks, mida saab kasutada täiustatud pooljuhtide valmistamisprotsessides.

Ränikarbiid (sic)omab mitmesuguseid omadusi, mis on ainulaadsed võrreldes traditsiooniliste keraamika või metalliliste materjalidega. SIC üks peamisi eeliseid on selle resistentsus kõrgetele temperatuuridele. SIC suudab säilitada oma struktuuri terviklikkuse ja mehaanilise stabiilsuse - pikka aega isegi kõrgendatud temperatuuridel. See muudab SIC ideaalse protsesside jaoks nagu keemiline aurude ladestumine (CVD) epitaksia või suure energiatarbega ioonide implanteerimine. Metallid ja plastid deformeeruksid, oksüdeeriksid või saastaksid äärmuslikel temperatuuridel, samas kui SIC säilitab selle mõõtmete stabiilsuse ega suhelda positiivselt töötletavate vahvlitega.

Keemiline vastupidavus on SIC -kaanede teine ​​eristav tunnus. Pooljuhtide töötlemisel, millega võite kokku puutuda söövitavate gaaside, plasma või reaktiivsete kemikaalidega, ei ole haruldased. Nendes stsenaariumides annab SIC pind inertse barjääri, et vastu seista nende saasteainete vastu pinna lagundamisel aja jooksul, mille tulemuseks on pikem efektiivne eluiga. See pikaealisus võrdub vähendatud hoolduskulude, vähendatud seadmete ajavahemiku ja korratavuse korral pikendatud protsessitsüklites. Need tegurid muudavad SIC kaane paremaks võimaluseks FAB -de jaoks, mis nõuavad traditsiooniliste materjalidega võrreldes pidevat ja suure saagikuse tootmist.

Nii nagu keemiline vastupidavus, on ka puhtus pooljuhtide rakenduses esmatähtis. Jälgimissaasteainete olemasolu võib olla negatiivne mõju seadme jõudlusele ja saagikusele. SIC kaane on valmistatud kõrge puhtusega räni karbiidimaterjalidest, mis välistab protsessi keskkonda voolavate metalliliste lisandite võimaluse. Lisaks on see garanteeritud, et see on võimalikult puhas ja stabiilne, kui see on seotud kaane jõudlust mõjutavate saasteainete ja väliste jõududega, mis on kriitilise tähtsusega tänapäeva pooljuhtide tootmisnõuete täitmisel, kus nanomeetri taseme objektid tuleb määratleda saasteainete mõõtmeteta ja kontrolliga. SIC kaane paindlikkus on lisaväärtus. Iga komponenti saab konstrueerida konkreetse kliendi vajaduste jaoks suuruse, geomeetria ja pinna viimistluse osas. See tagab, et kaas saab hõlpsasti lisada erinevate seadmemudelite ja protsessiriistadega.

Töötlemise täpsusSicKaaned parandavad veelgi SIC kaane väärtust. Pooljuhtide tööriistad nõuavad suurimat mehaanilist täpsust, kuna mõõtmete ühilduvuse ja pinna ühtluse suured kõikumised võivad olla isegi väikesed ühtluse ja materjali paksuse erinevused, mis võivad tööriista protsesside konsistentsi, läbilaskevõime ja toote kvaliteeti tõsiselt kahjustada. Materjalide töötlemise täiustatud tehnoloogiate kaudu on SIC kaanedel tasasus, pinna ühtlus ja tolerantsid, mis ületavad tavapäraseid tööstusstandardeid, pakkudes tavaliselt tuhandeid/tuhandeid tolli (TIR) ​​mehaanilist tihenduspinna paksust. Kõrge tasasus võimaldab tihendada nii mehaanilist sobivust kui ka laboratoorse klassi piiride kinnitust, et kogeda tootmisprotsessis tingimusi. See on eriti ilmne suure mahuga FAB -de puhul, kus tingimuste korratavuse rõhuasetus on pooljuhtide seadmete toimimisel ülioluline. Täpsustehnika poole püüdlemisel räägib see otse optimeerimise saamiseks. Kui SIC kaaned on tüüpilises praktilises kasutamises, näiteks epitaksias, kus SIC kaas istub reaktoris pääsemiseks termiliselt ja keemiliselt stabiilsena, või ioonide implantatsioonisüsteemis, et vastu seista energiliste osakeste vastu, mis on välja heidetud suure võimsusega talast, mis tabas kaanet, olid nende mehaanilised konfiguratsioonid, mis olid nende mehaanilised koosseisud, ja säilitasid nende konstantseid sooleid. Miks on SIC kaaned määratud sünonüümiks tahkis pooljuhttootmisel.

Semicorex SIC kaas tähistab nii materjaliteaduse kui ka materjalitehnika parimaid ning pakub pooljuhtide keskkonnas võimalikult palju jõudlust, nende kõrge temperatuuri tolerantside, keemilise vastupidavuse, ideaalse puhtuse, kohandatud valmistamise, täpse töötlemise töö, SIC kaanega.