Semicorexi satelliitplaat on kriitiline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide epitaxy reaktorites, mis on spetsiaalselt mõeldud Aixtron G5+ seadmetele. Semicorex ühendab täiustatud materiaalsed teadmised tipptasemel kattetehnoloogiaga, et pakkuda usaldusväärseid ja suure jõudlusega lahendusi, mis on kohandatud nõudlikeks tööstuslikeks rakendusteks.*
Semicorexi satelliitplaat on elutähtis vahvli kandja epitaksiaalse kasvuprotsessi ajal, tagades ühtlase sadestumise ja optimaalse protsessi efektiivsuse. See plaat on ehitatud kõrge puhtusarjaga grafiidist ja kaetud tugeva räni karbiidi (SIC) kihiga.
Kõrge puhtusastmega grafiidipõhjaga silma paistab satelliitplaat soojusjuhtivuse ja struktuurilise terviklikkuse osas. SelleSic -kateSoodustab oluliselt selle vastupidavust, pakkudes kõrge temperatuuri vastupidavust, keemilist ineritust ja vähendades dramaatiliselt osakeste genereerimist. See võimas kombinatsioon tagab, et plaat kestab karmidel töötlemistingimustel, toimides samal ajal kõrgel tasemel. Grafiidi alus hõlbustab tõhusat soojusülekannet, tagades ühtlase temperatuuri jaotuse kogu vahvli kogu, samas kui SIC -kattekiht kaitseb söövitavate protsessigaaside eest, takistades saastumist ja laiendades kasutusaja. Lisaks vähendab SIC pind osakeste vabanemist, mis on kõrge tootlusega pooljuhtide valmistamise saavutamiseks kriitilise tähtsusega.
Spetsiaalselt Aixtron G5+ süsteemidega sujuvaks integreerimiseks loodud satelliidiplaat tagab täpse vahvli positsioneerimise ja pöörlemisbilansi, mis on hädavajalik stabiilsete termiliste tingimuste säilitamiseks ja defektide kiiruse vähendamiseks. Plaadi täiustatud materiaalne koostis ei laienda mitte ainult selle kasutusaega, vaid vähendab märkimisväärselt ka tegevuskulusid ja suurendab tootmist tootlikkust.
Peamiselt kasutatud metalli orgaanilise keemilise aurude ladestumise (MOCVD) protsessis on satelliidiplaat ülioluline epitaksiaalsete kihtide kasvatamiseks pooljuhtide vahvlitel. See mängib võtmerolli täiustatud pooljuhtide seadmete tootmisel, sealhulgas LED-id, SIC ja GAN-põhised Power Electronics, fotoonilised ja optoelektroonilised komponendid ning kõrgsageduslikud RF-seadmed. Stabiilsete termiliste tingimuste tagamise ja saastumise minimeerides tagab satelliitplaat järjepideva epitaksiaalse kihi kasvu, mis viib paranenud vahvli käitlemise ja suurema saagiseni. Selle optimeeritud disain tagab vahvli tuge tõhusalt, vähendades defekte ja tagades täpsuse pooljuhtide töötlemise etappide vältel.
Semicorexi satelliitplaat on Aixtron G5+ epitaxy reaktorite oluliseks komponendiks, pakkudes võrreldamatut vastupidavust, keemilist vastupidavust ja termilist jõudlust. Selle tipptasemel materjali koostis ja inseneritööd muudavad selle pooljuhtide tootmisprotsessi jaoks kriitiliseks, tagades kõrge saagikuse ja kvaliteetsete vahvlite tootmise. Investeerige satelliidiplaadile, et tõsta oma pooljuhtide valmistamist ja saavutada epitaksiaalse kasvuprotsesside tipptasemel.