PBN -küttekeha

Semicorexi pürolüütiline boor nitriidi PBN küttekeha on suure puhketu, suure jõudlusega küttekomponent, mis on mõeldud nõudlikeks rakendusteks, kus üliolulised, keemiliselt stabiilsed ja termiliselt tõhusad materjalid on hädavajalikud. Keemilise aurude ladestumise (CVD) kaudu toodetud PBN-il on erakordne soojusjuhtivus, kõrgtemperatuuriga vastupidavus ja silmapaistev keemiline inerts, muutes selle ideaalseks valikuks pooljuhtide töötlemiseks, kristallide kasvuks ja vaakumrakendusteks.

PBN-küttekeha on küttekeha, mis kasutab substraadina kõrgelt isoleerivat PBN-i ja kasutab madala rõhu termilise lagunemise keemilise aurude ladestumist (CVD), et katta juhtiv PG madala rõhuga (alla 10Torr) ja kõrgtemperatuuri. Selle komposiitküttekeha peamised komponendid on pürolüütiline boor nitriid (PBN) ja pürolüütiline grafiit (PG). Suurepärase korrosioonikindluse ja kõrge temperatuurikindluse tõttu kasutatakse seda peamiselt pooljuhtide substraadi kuumutamiseks (kasutatakse MBE, MOCVD -s, pritsimiskattes jne); superjuhtide substraadi kuumutamine; Proovi kuumutamine proovi analüüsimise ajal; elektronmikroskoobi proovi kuumutamine; metalli kuumutamine; metalli aurustumise allikas jne.

PBN on söövitavate gaaside suhtes inertne; on kõrge puhtus (suurem kui 99,99%); ei märja ega reageeri enamiku sulametallidega (sellel on mittekleepuva panni omadused ja metalli saab kasutada 100%); on hea kõrge temperatuuri takistusega (maksimaalne töötemperatuur on 2000 ℃); hea tihedus; Hea termiline löögikindlus ja muud suurepärased omadused muudavad selle ideaalseks materjaliks PBN-PG komposiitküttekehade valmistamiseks. PG -d saab kuumutada kiiresti 1600 ℃ (inertses atmosfääris ja vaakumis) PBN -küttekehas. Samal ajal koos PBN -i hea soojusjuhtivusega on küttepinnal hea kuumuse ühtlus. Seotud tööstusharude kiire arenguga on kiiresti kasvanud nõudlus PBN-PG komposiitküttekehade järele.

PBN -küttekehasid saab valmistada mitmesuguste kujundite ja konfiguratsioonidena, et vastata konkreetsetele kujundus- ja integratsiooninõuetele. Tüüpiliste disainilahenduste hulka kuuluvad manustatud või pinnale kinnitatud kütteelementidega tasapinnalised küttekehad, torukujulised küttekehad ja kohandatud geomeetriad. Kütteelemendid on tavaliselt valmistatud pürolüütilisest grafiidist (PG) ja kapseldatud PBN -i, pakkudes täielikult suletud, elektriliselt isoleeriva ja termiliselt tõhusa struktuuri.