PBN elektrostaatiline padrun

Materjali omadusedPBNElektrostaatiline padrun

Vastupidavus kõrgele temperatuurile ja dielektriline tugevus

ThePBNElektrostaatiline padrun on tuntud oma erakordse kõrge temperatuurikindluse poolest, mis on pooljuhtide tootmisprotsessis keskse tähtsusega. Pürolüütiline boornitriid (PBN), materjal, mida kasutatakse padruni konstruktsioonis, omab suuremat eritakistust kui kõige sagedamini kasutataval keraamikal, mis on ülioluline Johnsen-Rahbeki (J-R) padruni jõu säilitamiseks kuni temperatuurini 1050 °C. See kõrge eritakistus koos suure dielektrilise tugevusega tagab elektrikatkestuse tõhusa ärahoidmise isegi tugeva kuumuse korral, suurendades seeläbi padruni töökindlust.

Termiline ühtlus ja löögikindlus

PBN-i kuusnurkne võrestruktuur, mis on valmistatud keemilise aur-sadestamise teel temperatuuril üle 1500 °C, aitab kaasa selle suurepärasele termilisele ühtlusele ja löögikindlusele. Suure tihedusega kütteelemendid seesPBNElektrostaatiline padrun võimaldab saavutada ühtlase vahvlisoojusprofiili hea ühtlusega 1,1–1,5% temperatuuril 600–800 °C. Lisaks on PBN-põhisel padrunil märkimisväärne soojuslöögikindlus ja väiksem soojusmass, võimaldades sellel jõuda 600 °C-ni kiire tõusukiirusega 23 °C/s ilma pragunemise või kihistumise ohuta.

Kohandatav mitmetsooniline küte

PBN elektrostaatiline padrun on väga kohandatav ja sellel on mitmetsoonilised küttevõimalused, mis võimaldavad maksimaalset temperatuuri reguleerida. Selline kohandamise tase tagab, et iga padrunit saab kohandada vastavalt üksikute klientide erinõuetele, pakkudes paindlikku lahendust erinevatele pooljuhtide töötlemise rakendustele.

RakendusedPBNElektrostaatiline padrun

Ioonide implanteerimine ja vahvlite käsitsemine

PBN elektrostaatiline padrun on ioonide implanteerimise protsessides eelistatud vahvlite käsitsemisseade. Selle võime hoida vahvleid temperatuuril üle 1000°C teeb sellest ühe kõige mitmekülgsema elektrostaatilise padruni turul. Seda mitmekülgsust suurendab veelgi selle võime hoida vahvleid väga kitsas temperatuurivahemikus tänu suure tihedusega mitmetsoonilistele kütteelementidele.

Ränikarbiidi ioonide implantatsioon

SiC ioonide implanteerimise spetsiifilises rakenduses onPBNElektrostaatiline padrun pakub elujõulist lahendust vahvli kuumutamise ja käsitsemisega seotud väljakutsetele. Selle kahefunktsioonilised võimalused, mis hõlmavad suurt padruni jõudu, suurt kuumutusvõimsust, head termilist ühtlust ja kiiret reageerimist, muudavad selle ideaalseks valikuks ränikarbiidi ioonide implanteerimise keeruliste nõuete täitmiseks.

Pooljuhtide tootmine

PBN elektrostaatiline padrun mängib kriitilist rolli pooljuhtide tootmises, kus plaatide täpne käsitsemine ja temperatuuri reguleerimine on olulised. Selle kõrge vastupidavus termilisele löögile ja kiire temperatuuri tõstmise võime muudavad selle sobivaks täiustatud pooljuhtprotsesside jaoks, mis nõuavad ranget temperatuurijuhtimist ja kiiret termotsüklit.